国家自然科学基金(59976038)
- 作品数：7 被引量：27H指数：4
- 相关作者：陈则韶戚学贵王冠中廖源韩新海更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学华东理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>
- 掺As氮化镓薄膜的蓝光发射特性研究
- 由于宽禁带系氮化镓(GaN)材料具有较强的化学键、耐高温、抗腐蚀等优越性质,因此其在高亮度发光器件、高温大功率晶体等领域有着很大的应用前景。对等电子As掺杂的GaN薄膜的研究主要出于以下的考虑,GaN和GaAs可以形成三...
- 廖源余庆选王冠中方容川A.J.WinserS.V.NovikovC.T.Foxon
- 文献传递
- 优化HFCVD系统内衬底温度场的数值研究被引量：3
- 2002年
- 热丝对衬底的辐射是决定热丝化学气相沉积金刚石薄膜系统内衬底表面温度分布的主要因素。本文基于辐射传热基本原理 ,并考虑变热物性衬底的横向热传导 ,改进了衬底温度场的计算模型。数值模拟了衬底表面所受辐射热流密度分布和温度分布 ,结果表明辐射热流密度分布与辐射热平衡得到的温度分布形状一致 ,而衬底横向热传导提高了温度分布的均匀性。进一步计算并讨论了环境温度和热丝高度、数目、间距等几何参数对衬底表面所受辐射热流密度分布和温度分布的影响 ,给出获得 8cm×
- 戚学贵陈则韶王冠中
- 关键词：衬底温度场热丝化学气相沉积金刚石薄膜硅传热
- 热丝法沉积金刚石膜工艺参数优化的微观机理与预测被引量：1
- 2005年
- 弄清化学气相沉积金刚石膜的机理对优化工艺参数具有指导意义。在前期工作中,作者辨析了氢原子、甲基和乙炔在金刚石膜沉积中的作用。本文建立了两个微观指标,即甲基浓度和氢原子与乙炔浓度的比值,分别对应生长金刚石和刻蚀非金刚石碳。通过对CH和CHO反应气氛的模拟,讨论了这两个指标与灯丝温度、气源组成和气压的关系,并构建了含氧气氛生长金刚石的CHO三元相图。对热丝法沉积金刚石膜的工艺参数的优化选择进行了机理分析与预测,为工业化生产金刚石膜提供了参考。
- 戚学贵陈则韶徐宏王学生候峰谭晓勇
- 关键词：金刚石膜热丝化学气相沉积参数优化相图
- HFCVD金刚石膜过程的气氛模拟与分析被引量：2
- 2003年
- 对热丝法化学气相沉积金刚石膜过程的气氛进行了模拟与分析.使用GRI-Mech3.0甲烷燃烧过程C/H/O/N四元体系热化学反应机理和动力学数据,模拟并分析了HFCVD金刚石膜的C/H气相化学反应,通过对反应流的简单模拟得到了衬底位置气相组成,结果与前人实验数据吻合.探讨了灯丝温度、碳源浓度和碳源种类等因素变化对衬底位置气相组成的影响.结果表明甲基是金刚石膜生长最主要的前驱基团,其作用远高于乙炔,而超平衡态原子氢的存在对金刚石膜的质量至关重要.
- 戚学贵陈则韶常超王冠中廖源
- 关键词：HFCVD金刚石膜成膜过程
- 热丝CVD系统内衬底温度分布的数值研究被引量：9
- 2001年
- 热丝法化学气相沉积金刚石薄膜系统内 ,衬底温度和碳源气体浓度是金刚石薄膜生长最为重要的参数。本文根据传热学基本原理 ,数值模拟了衬底表面辐照度、温度分布 ,讨论了衬底热传导等因素对衬底温度分布的影响 ,探讨了如何改善衬底温度均匀性。结果表明 ,考虑衬底横向热传导后 ,衬底表面温度分布均匀性明显优于基于辐射热平衡得到的温度分布 ,在一定程度上有利于生长大面积薄膜。
- 戚学贵陈则韶
- 关键词：金刚石薄膜辐照度热传导衬底温度温度分布
- 热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究被引量：5
- 2001年
- 对热丝化学气相沉积金刚石薄膜系统内的三种传热方式 (传导、对流和辐射 )进行了比较分析 ,数值计算了气相空间温度分布和衬底表面二维温度分布。采用热丝化学气相沉积工艺制备了金刚石薄膜 。
- 戚学贵陈则韶王冠中
- 关键词：热丝化学气相沉积温度场薄膜生长金刚石薄膜温度分布
- 脉冲激光淀积MgF_2薄膜的制备及性质研究被引量：8
- 2004年
- 本文采用脉冲激光淀积方法(PLD)制备了MgF2光学薄膜,并对其表面形貌以及光学性质进行了测试分析, X射线光电子能谱分析显示MgF2样品具有很好的化学组分配比, F/Mg原子比在1.9-2.1之间,接近于体材料;在可见光波段其光学透过率为60％-80％,在红外波段更是达到了90％以上,由KK变换计算MgF2的折射率大约为1.39,也接近于体材料的折射率1.38。
- 于琳韩新海王冠中揭建胜廖源余庆选方容川
- 关键词：脉冲激光淀积折射率透过率薄膜光学
- 掺氮气氛下CVD金刚石的场致发射特性研究
- 由于金刚石具有较小的,甚至负的表面电子亲和势,使得金刚石能够在很低的电场作用下就可以获得较大的发射电流,因此金刚石被认为是理想的下一代冷阴极材料。到目前为止,金刚石已经可以由许多种CVD方法成功制备,而人们对CVD金刚石...
- 廖源沈维康王冠中余庆选马玉蓉方容川
- 文献传递
- CVD金刚石膜制备方法及其应用被引量：4
- 2001年
- 介绍了金刚石膜的应用和低压下化学汽相沉积金刚石膜的主要方法及其最新进展，并对各种方法的优缺点作了简要评述。
- 戚学贵陈则韶陈莉
- 关键词：金刚石膜化学汽相沉积热丝等离子体
