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国家自然科学基金(50501003)

作品数：2 被引量：23H指数：2
相关作者：赵鑫王赞海储茂友郭奋王星明更多>>
相关机构：北京有色金属研究总院北京化工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技攻关计划更多>>
相关领域：一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇热压
  • 2篇阻挡层
  • 2篇扩散阻挡层
  • 2篇溅射
  • 2篇溅射靶材
  • 2篇靶材
  • 2篇TI
  • 2篇W
  • 1篇气体
  • 1篇热压法
  • 1篇惰性气体

机构

  • 2篇北京化工大学
  • 2篇北京有色金属...

作者

  • 2篇王星明
  • 2篇郭奋
  • 2篇储茂友
  • 2篇王赞海
  • 2篇赵鑫
  • 1篇沈剑韵

传媒

  • 2篇稀有金属

年份

  • 2篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
W/Ti合金靶材及其制备技术被引量：10
2006年
介绍了W/Ti合金扩散阻挡层在集成电路布线技术中的作用及应用情况。阐述了W/Ti合金靶材的特性参数-相对密度、微观结构、金属纯度,与W/Ti合金薄膜性能之间的关系,指出高密度、高纯度、富Ti相含量少的合金靶材是制备优良W/Ti合金扩散阻挡层薄膜的基本条件。介绍了制备W/Ti合金靶材的3种方法-真空热压、惰性气体热压、热等静压,并概述了不同方法制备的靶材性能上的差异,给出制备高性能W/Ti合金靶材的工艺条件。
王赞海储茂友王星明郭奋赵鑫
关键词：溅射靶材扩散阻挡层热压
惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材研究被引量：16
2006年
用W粉和Ti粉作原料, 采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材. 研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系. 结果表明, 控制温度在1250～1450 ℃之间, 压力在20 Mpa左右, 保温时间在30 min左右可制备高性能的W/Ti合金靶材.
王赞海王星明储茂友郭奋赵鑫沈剑韵
关键词：溅射靶材扩散阻挡层热压
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