国家高技术研究发展计划(2007AA032420)
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 相关作者：安俊明李建光王红杰王玥吴远大更多>>
- 相关机构：中国科学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 硅基光波导化学传感器研究被引量：2
- 2009年
- 研究了基于硅基集成光波导的马赫-曾德干涉仪(MZI)型化学传感芯片的设计、制备及相关敏感特性的模拟和分析。传感芯片采用硅基二氧化硅光波导材料,利用与传统互补型金属氧化物半导体(CMOS)兼容的工艺技术制作。通过波导的单模设计以及对MZI结构的优化,获得了有效折射率分辨率达到10-7量级的高灵敏度传感芯片。作为化学传感器,把MZI的其中一臂设计成传感臂,并进行适当的表面修饰,可制作出高灵敏度的干涉型光波导化学传感器。最后,对该传感器的折射率分辨率、敏感特性等进行了分析、模拟,同时,对面临的关键问题进行了分析和讨论。
- 吴远大安俊明李建光王玥尹小杰张家顺王红杰胡雄伟
- 关键词：折射率相位差
- 溶胶-凝胶法制备的SnO2薄膜特性分析
- 采用溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了高质量的SnO薄膜材料。采用SnCl·5HO作为反应前躯体,无水乙醇作为共溶剂,利用旋转涂覆的方法在Si片上成膜,经过干燥、退火处理得到SnO薄膜。采用X射线衍射(XRD)和原子力...
- 姜婷吴远大王玥安俊明李建光李帅胡雄伟
- 关键词：溶胶-凝胶二氧化锡敏感膜
- 文献传递
