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中国科学院上海微系统与信息技术研究所青年创新基金(2010QNCX01)

作品数：1 被引量：10H指数：1
相关作者：李伟车录锋王跃林更多>>
相关机构：中国科学院大学中国科学院更多>>
发文基金：中国科学院上海微系统与信息技术研究所青年创新基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电磁式
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇王跃林
  • 1篇车录锋
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
横向电磁式振动能量采集器的设计与制作被引量：10
2013年
基于微机电系统(MEMS)设计了一种结构新颖的横向电磁式振动能量采集器,用于把周围环境中振动的机械能转化为电能。该能量采集器主要由两块长方形永磁体、螺旋铜线圈、质量块-弹性梁振动系统及衬底等构成。选用有限元分析软件对器件结构参数进行了仿真分析与优化,并利用电镀技术制作螺旋铜线圈,KOH湿法腐蚀和深反应离子刻蚀(DRIE)技术制作质量块-弹性梁振动系统,然后与永磁体一起组成了体积大约为100mm3的能量采集器样机。对制作好的电磁式振动能量采集器样机的振动特性测试表明:质量块-弹性梁振动系统的一阶固有频率为241Hz;在频率为241Hz、加速度为2.8ms-2的外界振动激励下,负载两端产生的交流电压峰峰值为9.2mV。另外调节质量块和弹性梁的参数,还可以得到不同固有频率的能量采集器。该能量采集器实现了从机械能到电能的转化,对无线传感器件的发展和应用很有意义。
李伟车录锋王跃林
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