中央高校基本科研业务费专项资金(ZYGX2012J059)
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 相关作者：尹伊詹文博祁康成曹贵川叶辉更多>>
- 相关机构：电子科技大学浙江大学四川职业技术学院更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金四川省教育厅重点项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 环形叉指电极型压电鼓膜驱动器的制备及其性能测试被引量：4
- 2013年
- 制备了一种基于Pb(Zr52Ti48)O3(PZT52)材料的自适应光学用压电驱动器。驱动器采用鼓膜结构,其工作区域由主动层—PZT52压电层和被动层—ZrO2/Si复合层两部分构成。PZT52压电层采用环形叉值电极(IDT)驱动。采用Si(100)单晶作为衬底,并采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法在其上制备ZrO2阻挡层和PZT52压电层,其中引入PbTiO3(PT)种子层有利于PZT52膜层的(110)择优取向。随后在其上热蒸镀Al顶电极,并采用光刻方法制备图形,得到的IDT电极最大环形直径为10.5mm,电极间距为0.05mm,中心非激活区域直径为2mm。鼓膜结构则通过对Si衬底背部进行各向异性湿法刻蚀(ODE)得到,保留的支持层厚度为5～10μm,直径为12mm。测试结果表明,压电驱动器阵列单元在100kV/cm驱动下,可产生6.5μm左右的形变量。最后利用有限元分析方法(FEM)拟合了压电驱动器单元的面型,并分析了其形变模式产生的内部原因。
- 尹伊曹贵川祁康成叶辉詹文博
- Si基Sr_(1.8)Ca_(0.2)NaNb_5O_(15)薄膜的合成及光学特性研究被引量：1
- 2014年
- 利用溶胶-凝胶法,在Si（001）单晶衬底上逐层生长四方钨青铜结构的Sr1.8Ca0.2NaNb5O15（SCNN）薄膜。利用X射线衍射（XRD）仪、扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）等技术研究了薄膜的微结构,结果表明,SCNN薄膜在厚度较小的状态下可呈现出明显的（001）择优取向,而随着厚度的增加择优取向受到抑制,颗粒尺寸增大,薄膜的多晶态的趋势增强。然后通过测量薄膜在400～780nm光谱范围内的反射率曲线,采用Sellmeier色散公式分析折射率非均匀性的影响,通过改进的单纯形法计算拟合出SCNN薄膜的折射率和厚度,其中厚度的结果利用SEM加以验证,而折射率的变化则与薄膜结晶态的变化保持一致。
- 杨丁尹伊
- 关键词：CA0铁电薄膜溶胶-凝胶法单纯形法
