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国家自然科学基金(59272095)
作品数:
1
被引量:1
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相关作者:
冯良桓
王洪涛
周心明
徐明
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2001
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μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜的周期性结构和量子尺寸效应
被引量:1
2001年
利用射频辉光放电法 ,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式 ,制备了 μc- Si∶ H/a- Si∶ H多层膜 .低角度X射线衍射 (L AXRD)测试表明 ,这种多层膜具有良好的周期性结构 .观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系 ,发现其吸收边随着 a- Si∶ H层的减薄而蓝移 ,低温下的电导激活能 Ea 随着 a- Si∶ H层的减薄而减小 .
徐明
王洪涛
冯良桓
周心明
蔡亚平
冯技文
徐宁
麦振洪
关键词:
量子尺寸效应
半导体
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