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国家重点基础研究发展计划(2011CAB00603)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
刘冉
陈国平
陆冰睿
于航
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相关机构:
复旦大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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刘冉
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传感器与微系...
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1篇
2013
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激光干涉光刻工艺开发与应用研究
被引量:3
2013年
成功开发出以劳厄干涉为基础的激光干涉光刻系统与工艺,该工艺可在大面积范围内加工二维周期性图形,非常适合于生产光电子器件和微电子器件的周期性结构。通过实验研究了使用该工艺加工表面纳米结构的流程,对比了几种光刻胶在该工艺中的性能特点。该工艺不需要掩模、昂贵的短波长光源和成像透镜。初步实验结果表明:该工艺可以生产大面积亚微米周期的光栅、点阵以及锥形结构,为激光干涉光刻加工纳米结构的后续工作奠定了基础。
于航
陆冰睿
陈国平
刘冉
关键词:
激光干涉光刻
光刻胶
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