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国家重点基础研究发展计划(2011CAB00603)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：刘冉陈国平陆冰睿于航更多>>
相关机构：复旦大学更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇激光
  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉光刻
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇光刻胶
  • 1篇干涉光刻

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇于航
  • 1篇陆冰睿
  • 1篇陈国平
  • 1篇刘冉

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光干涉光刻工艺开发与应用研究被引量：3
2013年
成功开发出以劳厄干涉为基础的激光干涉光刻系统与工艺,该工艺可在大面积范围内加工二维周期性图形,非常适合于生产光电子器件和微电子器件的周期性结构。通过实验研究了使用该工艺加工表面纳米结构的流程,对比了几种光刻胶在该工艺中的性能特点。该工艺不需要掩模、昂贵的短波长光源和成像透镜。初步实验结果表明:该工艺可以生产大面积亚微米周期的光栅、点阵以及锥形结构,为激光干涉光刻加工纳米结构的后续工作奠定了基础。
于航陆冰睿陈国平刘冉
关键词：激光干涉光刻光刻胶
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