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国家高技术研究发展计划(2003AA305040)

作品数：2 被引量：8H指数：1
相关作者：张颖程璇罗学涛张莹龚朝阳更多>>
相关机构：厦门大学更多>>
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相关领域：一般工业技术理学更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇厚度测量
  • 1篇铝
  • 1篇表面处理
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇龚朝阳
  • 2篇张莹
  • 2篇罗学涛
  • 2篇程璇
  • 2篇张颖

传媒

  • 1篇真空
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
铝/改性氟塑料复合薄膜的制备
2005年
采用射频磁控溅射技术在改性氟塑料表面沉积铝层,制备了金属/氟化高聚物复合薄膜。利用场发射扫描电镜(FESEM)及能量散射谱(EDS)分析仪对沉积的铝层进行了表面形貌的表征和化学组分的分析。初步探讨了溅射功率、气压和时间等不同溅射参数对铝层结构和铝层在氟塑料表面附着情况的影响。结果表明:溅射功率是决定复合薄膜质量的重要因素,功率过低得不到致密的铝层结构,而且铝层容易从氟塑料表面脱离,功率过高则会产生很强的热效应而使复合薄膜弯曲。溅射气压和时间分别影响铝层在氟塑料表面的沉积速率和生长厚度。
龚朝阳程璇张颖罗学涛张莹
关键词：磁控溅射表面处理
复合薄膜研究的进展被引量：8
2006年
复合薄膜材料由于具有传统复合材料和薄膜材料两者的优点,正成为复合材料的重要分支而越来越引起广泛的重视和深入的研究。它可以把各层薄膜材料的优异性能结合起来,从而克服各自的弱点,达到特定的应用目的。本文简要综述了近十年来复合薄膜领域的研究进展,介绍了多层复合薄膜的制备方法和常用表征手段并总结了目前复合薄膜材料领域中存在的主要问题。
龚朝阳罗学涛张颖程璇张莹
关键词：厚度测量
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共1页<1>
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