北京市自然科学基金(3122014)
- 作品数：4 被引量：11H指数：3
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- 一种基于多铁压电纳米纤维压力传感器设计被引量：3
- 2014年
- 设计了一种基于静电纺丝技术制备的多铁压电纳米纤维微压力传感器结构,对其工作原理做出了理论分析。近似平行排列的纳米纤维沉积到叉指电极上,电极材料生长于硅基底方形弹性膜片上表面,用小挠度理论设计计算了方膜结构,并对固支结构的纤维进行了力学分析。由纤维压电效应计算出传感器输出电压,并对传感器的结构尺寸进行比较分析,以提高传感器输出电压。
- 汪海涛谭晓兰李佳玮
- 关键词：微压力传感器静电纺丝
- 多铁纳米MEMS压力传感器性能测试系统设计
- 2016年
- 针对近年来对微传感器测试研究的发展需求,设计一种基于多铁纳米MEMS压力传感器的性能测试系统,该性能测试装置由3个部分组成:压力容器泵体、测试接口电路和温度磁场调控系统。对实验室设计制作出的多铁纳米MEMS压力传感器,利用该测试装置在温度可调、磁场可控的条件下进行传感器性能参数的测试。实验结果初步表明,该方案设计出的基于多铁纳米MEMS压力传感器的性能测试装置是切实可用的,为以后更具体的测试工作提供理论参考和实验依据。
- 冯春鹏赵智增
- 关键词：MEMS压力传感器
- 压阻式微压力传感器结构参数设计被引量：5
- 2013年
- 在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上,根据传感器的灵敏度与线性度特点,设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器。在满足计算要求的条件下,对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真;并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值。仿真结果表明,该设计方法对微压力传感器的研制具有一定的参考价值。
- 王峰谭晓兰张敏亮
- 关键词：微压力传感器灵敏度线性度ANSYS仿真可靠性
- 一种压阻式压力传感器稳健设计方法研究被引量：3
- 2015年
- 利用ANSYS软件对膜片应力进行仿真分析,对得到的应力数据沿电阻条所在路径积分,计算出力敏电阻在外界压力下阻值的变化;将Taguchi方法应用到传感器的设计中,通过对力敏电阻尺寸及其位置参数进行分析,确定影响因素和水平,利用正交实验和信噪比分析参数的稳健性,最终选出性能最优的设计参数组合。此方法能够提高传感器的性能与质量。
- 李佳玮谭晓兰汪海涛
- 关键词：压阻式压力传感器灵敏度路径积分信噪比
