国防基础科研计划(A0920110019)
- 作品数：15 被引量：38H指数：4
- 相关作者：胡小英张云龙宗文俊汪志斌蔡长龙更多>>
- 相关机构：西安工业大学西安应用光学研究所哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国防基础科研计划国家自然科学基金陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学金属学及工艺更多>>
- 完全相干光系统对两点分辨率成像研究
- 2022年
- 对于两点分辨率问题,目前已有比较深入研究,其中最著名的理论是瑞利判据,但该判据只针对理想状态下完全非相干研究,对于完全相干这种极限情况研究却极少。根据两点分辨率原理,建立两物点间距与像面光强的数学模型,通过仿真结果给出完全相干光照明条件下两点光源成像的一般规律:在完全相干光照明条件下,随着物点间距增大,两点分辨能力增强。最后通过理论像面光强与实际像面光强的比值分析说明在完全相干光照明条件下存在分辨极限且两物点分辨极限为1.5 mm。
- 刘文轩胡小英
- 关键词：光学成像系统相干光圆孔衍射
- 折衍二元光学用金刚石车刀设计
- 2014年
- 栏光效应是影响折衍元件衍射效率的一个重要因素,栏光效应与加工刀具有着密切的关系。分析刀具圆弧半径与栏光效应的联系、刀具参数与元件加工后的表面粗糙度的关系以及刀具耐用度等要求,设计了加工折衍二元光学元件的金刚石刀具,给出刀具加工里程数计算公式和车削实验结果。实验结果证明:设计的金刚石刀具能够满足折衍二元光学元件的产业化加工要求,刀具耐用度较强化前提高2倍多。
- 汪志斌苏军李军琪张云龙张峰赵敏
- 关键词：金刚石刀具衍射效率耐用度
- 量子阱红外探测器光谱特性研究被引量：1
- 2020年
- 采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长制备30~50周期300μm×300μm台面,外电极压焊点面积80μm×80μm,内电极压焊点面积20μm×20μm的GaAs/AlGaAs量子阱样品数件,峰值响应波长为8.5μm,从理论和实验两方面分析探讨了测试样品光谱特性。用傅里叶光谱仪分别对其进行50 K液氦温度下光谱响应测试,实验结果显示1#,2#样品峰值响应波长分别为8.38μm,8.42μm,与理论峰值响应波长8.5μm分别相差0.12μm,0.08μm,误差约为1.4%,0.9%。两样品峰值响应波长实验值与理论值误差均小于2.0%,实验结果表明金属有机物化学气相沉积法技术可满足量子阱红外材料生长工艺要求,探测器电极压焊点面积大小与位置对器件光谱特性影响甚微,该误差主要由测试系统引起的,利用高分辨透射扫描电镜(HRTEM)对样品的微观结构进行剖析研究,说明虽然样品存在不同程度位错现象,但由GaAs与AlGaAs晶格间不匹配带来的应力应变对器件宏观光谱响应特性影响不明显。
- 胡小英胡守波刘卫国
- 关键词：量子阱红外探测器
- 部分相干光照明正弦振幅光栅偏振成像的研究
- 2022年
- 偏振成像由于其能检测物体偏振信息并可有效抑制背景噪声信号而受到了广泛关注。以往对正弦振幅光栅成像的研究基本都是在完全相干、非相干、或部分相干照明条件下进行,而本文基于偏振相干统一理论,在部分相干照明条件下考虑了光的偏振态,设计了部分相干光照明正弦振幅光栅的偏振成像系统,据此系统得出其斯托克斯(Stokes)频域计算模型,提供了一种计算Stokes物像频域关系的方法,通过透射交叉系数来描述其偏振成像系统的频率响应,说明偏振成像系统是非线性的,对光栅像强度中直流分量、基频、二次谐波进行分析研究,给出一组归一化Stokes参数下部分相干光照射正弦振幅光栅像面强度图,并利用MATLAB绘制出几组不同物体照明相干间隔与成像系统衍射图样大小比率下的Stokes像强度图,扩展了正弦轨迹分析在偏振成像系统性能评估中的应用。
- 李昊胡小英刘文轩肖生柱聂建林
- ICP刻蚀Si/PMMA选择比工艺研究被引量：2
- 2014年
- 为了将聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上的图案等比例的转移到硅基材料上,对基于感应耦合等离子体技术(Inductively Coupled Plasma,ICP)的Si和PMMA的刻蚀速率进行了研究。结合英国牛津仪器公司的ICP180刻蚀系统,以SF6和O2混合气体为反应气体,研究了在其他参数相同的情况下,不同气体比例对两种材料刻蚀速率的影响,得到刻蚀速率随气体比例变化的曲线,并得出了对于Si和PMMA刻蚀速率相同时的气体比例。实验发现,如果增加反应气体中SF6的比重,会加快Si的刻蚀速率而降低PMMA的刻蚀速率,反之,若降低SF6的比重而增加O2的比重,则会相应降低Si的刻蚀速率而增加PMMA的刻蚀速率。据此,通过调节反应气体的比例,实现对Si和PMMA的同速率去除。
- 虎将蔡长龙刘卫国巩燕龙
- 关键词：等离子体刻蚀SI
- 偏振激光散斑的偏振态测量研究
- 2022年
- 偏振激光散斑偏振态的问题已进行过深入的研究,但在大多数研究中,没有考虑具有影响透射光的偏振和传播方向的各向异性折射率材料。为了对各向异性介质产生的偏振激光散斑展开研究,采用马赫-曾德尔干涉仪的方法,搭建偏振干涉实验光路,用MATLAB对双折射散射板产生的偏振激光散斑进行处理并分析。实验结果表明,各向异性折射率材料会影响透射光的偏振和传播方向,与普通磨砂玻璃相比,双折射散射板产生的偏振激光散斑图包含了更多的偏振信息,即椭圆偏振态、线偏振态和圆偏振态,而不是单一的一种偏振态。这对具有随机偏振态的表面散射现象的研究奠定了基础。
- 聂建林胡小英肖生柱
- 关键词：偏振干涉仪
- 衍射光学元件车削补偿技术的研究被引量：4
- 2014年
- 超精密单点金刚石车削加工是高精度衍射光学元件制造的重要方法,但是以往的加工方法是直接一次车削加工成型,无法实现具有加工-检测-补偿加工-检测的闭环控制特点的超精密加工,从而导致零件精度较低。针对这种加工技术的缺陷,通过研究衍射光学元件金刚石车削过程和面形状误差补偿,对表面轮廓仪实际测量的轮廓数据进行处理,计算出实际车削曲线与理想曲线之间的法向残余误差,以此获得新的金刚石车削加工轨迹,实现衍射光学元件的超精密闭环控制加工。利用单点金刚石车床对口径78的衍射光学元件进行补偿加工试验,最终使其PV值由10.4μm经过一次补偿加工后降为4.3μm。
- 张峰汪志斌张云龙郭小刚苏瑛郭芮
- 关键词：衍射光学元件金刚石车削误差补偿
- 天然金刚石晶体的真空热化学腐蚀工艺被引量：3
- 2013年
- 为了给天然金刚石刀具的使用寿命延长提供一种全新的技术方法,提出了基于纳米氧化铜的真空热化学腐蚀新工艺,用于后处理机械刃磨工艺加工的天然金刚石晶体.实验结果表明,当真空环境温度为100℃时,天然金刚石晶体表面受损碳原子和纳米氧化铜发生氧化、还原反应.随着腐蚀时间的增加,天然金刚石晶体的表面粗糙度缓慢降低,呈现微弱的平坦化趋势.当真空环境温度为200℃时,2 h的热处理时间为最佳.此过程中天然金刚石晶体表面受损碳原子和纳米氧化铜发生氧化、还原反应,同时伴随受损碳原子的退火修复作用,因此30 nm压痕深度下的表面微硬度和弹性模量值达到最大.随着腐蚀时间增加,表面微硬度和弹性模量反而下降.
- 宗文俊李增强胡振江孙涛苑世剑
- 关键词：天然金刚石纳米氧化铜退火
- GaAs/Al_(0.3)Ga_(0.7)As QWIP暗电流特性HRTEM研究被引量：5
- 2014年
- 采用金属有机物化学气相沉积法（MOCVD）生长GaAs/Al0.3Ga0.7As量子阱材料，制备300μm×300μm台面，内电极压焊点面积为20μm×20μm，外电极压焊点面积为80μm×80μm的单元样品两种。用变温液氮制冷系统对样品进行77~300 K暗电流特性测试。结果显示，器件暗电流曲线呈现出正负偏压的不对称性。利用高分辨透射扫描电镜（HRTEM）获得样品纳米尺度横断面高分辨像，分析结果表明：样品横断面处存在不同程度的位错及不均匀性。说明样品内部穿透位错造成相位分离是引起量子阱光电性能变差的根本原因，不同生长次序中AlGaAs与GaAs界面的不对称性与掺杂元素的扩散现象加剧了暗电流曲线的不对称性。
- 胡小英刘卫国段存丽蔡长龙韩军刘钧
- 关键词：量子阱红外探测器GAAS/ALGAAS金属有机物化学气相沉积暗电流
- 任意相干度圆孔成像系统对两物点分辨能力研究被引量：1
- 2021年
- 两点分辨的问题已进行过深入的研究,其中最著名的是Rayleigh和Sparrow判据。然而其通常仅适用于完全相干光或者完全非相干光两种极限状态,对于具有普遍性的部分相干光的情况却研究较少。本文设计了部分相干光照明圆孔成像系统,据此建立了两物点光强在像面分布数学模型,利用MATLAB对两物点像面光强分别在不同间距与任意相干度情况进行了模拟仿真,结果显示当两点间距一定,两物点分辨率随着两点光源间相干度的增加而减小,而当相干度一定时,两物点分辨率随着两点光源间距的增加而增加。本文同时采用像面间距与物面间距的比值以描述系统对两物点分辨能力,分析探讨了两物点恰能分辨,不能分辨,完全能分辨的三种情况,并给出任意相干度的圆孔成像系统一般分辨规律。同时设计了两物点在任意相干度的成像系统实验平台,实验结果表明两物点在此实验条件下间距为1.5 mm时恰能分辨,说明实验结果与理论模拟基本吻合。
- 胡守波胡小英李昊
- 关键词：分辨率部分相干光成像系统
