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高性能全永磁ECR离子源LAPECR2的研制: 研制了一台当今世界上体积最大、重量最大、设计性能最高的全永磁ECR(Electron Cyclotron Resonance)离子源LAPECR2(Lanzhou AllPermanent ECR ion source ...; 孙良亭赵红卫张子民王辉马保骅李锡霞张雪珍马新文; 关键词：ECR离子源高电荷态; 文献传递

电偏转扫描法测量高电荷态ECR源发射度被引量：1: 2004年; 成功地研制了一套适合于低能离子束流发射度测量的电偏转扫描探测器 .对该探测器的原理和结构作了较详细的描述 ,并给出该探测器对兰州近代物理研究所高电荷态ECR源LECR3引出离子束流发射度的测量结果 .典型结果为 :在引出高压为 15 .97kV ,引出束流为 190 μA时 ,O4 +水平发射度 (x方向 )为 137πmm·mrad ,垂直发射度 (y方向 )为 12 0πmm·mrad(包括 90 %束流 ) .最后 ,对测量结果作了一些分析和讨论 .; 曹云马雷赵红卫张子民孙良亭李锦钰冯玉成李锡霞; 关键词：ECR离子源发射度加速器物理

超导ECR源SECRAL韧致辐射谱的测量: 热电子在ECR源中有着非常重要的作用,为了研究ECR源的工作参数(微波功率、磁场等)对热电子的影响,我们对SECRAL(Superconducting ECR ion source with Advanced desig...; 赵环昱赵红卫马新文孙良亭张雪珍; 关键词：SECRAL 热电子; 文献传递

多电荷态离子束流发射度探测系统的研究: 我们设计完成一套多电荷态离子束流发射度测量探测系统-电偏转扫描探测器ESS(Electric Sweep Scanner),目前安装在近代物理研究所原子物理实验平台LECR3离子源传输线上,用于研究LECR3离子源引出束...; 曹云孙良亭何伟马雷张子民赵环昱赵红卫马保华李杰王辉李锦钰李锡霞冯玉成卢旺; 关键词：离子源发射度; 文献传递

ECR离子源束流发射度的实验研究(英文)被引量：1: 2005年; 利用最新自行研制的电扫描发射度探测系统,在ECR离子源上进行了一系列关于ECR离子源引出束流发射度的研究.这套电扫描发射度探测系统安装在中国科学院近代物理研究所(兰州)的LECR3试验平台的束运线上.试验中,通过测量相关参数,研究了磁场、微波、掺气效应及负偏压效应等对引出束流发射度的影响.利用实验所得的结果与关于ECR等离子体和离子源束流发射度的半经验理论,分析推导了离子源各可调参数与ECR等离子体的直接关系,这为分析探索ECR离子源的工作机制提供了一定的参考依据.; 孙良亭曹云冯玉成李锦钰赵红卫张子民王辉马宝华何伟赵环昱郭晓虹; 关键词：ECR离子源发射度 ECR等离子体

用于光刻的EUV光源被引量：5: 2007年; 对国际上普遍采用的两种EUV光源:放电等离子体源(DPP)和激光等离子体源(LPP)进行了多方面比较。给出了两种等离子体源各自优点及难以克服的困难。基于目前的测量结果,指出了ECR等离子体有潜力成为一种新型的极紫外辐射源。; 赵环昱赵红卫; 关键词：光刻放电等离子激光等离子体 ECR等离子体

强流高电荷态全永磁ECR离子源LAPECR2的初步调试被引量：1: 2007年; 研制成功了一台强流高电荷态全永磁ECR(Electron Cyclotron Resonance)离子源LAPECR2(Lanzhou All Permanent Magnet ECR Ion Source No.2)。该离子源在完成磁体装配后已成功在近代物理研究所320 kV高压平台上安装就位,与后束运线完成对接组装。离子源于2005年7月在14.5 GHz实现了第一次成功起弧,并引出较强的混合束流。目前离子源已与后束线以及部分实验终端完成了联调,在实验终端能够获得强流较高电荷态的离子束流。本文将着重论述该全永磁源的结构技术特点和主要参数指标。本文还着重论述了LAPECR2离子源在14.5 GHz微波功率馈入条件下的初步调试结果,在此基础上对束流向实验终端联调的实验结果进行了讨论,着重分析了影响束流引出与传输效率的主要因素。; 孙良亭李锦钰王辉马宝华张雪珍宋明涛李锡霞朱玉华冯玉成赵力民王平志马新文刘慧萍赵红卫; 关键词：ECR离子源高电荷态空间电荷效应

ECR离子源束流引出与传输的研究(英文)被引量：1: 2005年; 针对ECR离子源的束流引出及传输研究,在中国科学院近代物理研究所的LECR3离子源实验平台上开展了大量的实验.实验中研究了等离子体电极引出孔径、反射电极(抑制电极)偏压以及Glaser透镜等因素对束流引出与传输的影响.研究的重点是试图通过系列实验与分析来研究如何能更有效地引出强流离子束流并减小其在传输空间的损失.给出了实验的主要结果,结合这些数据对ECR离子源的束流引出与传输进行了较全面的分析,并综合这些实验结果与分析结果得出了该物理过程的一般物理图像.; 孙良亭曹云赵红卫张子民冯玉成李锦钰; 关键词：ECR离子源空间电荷等离子体

ECR等离子体轫致辐射谱的研究: 为了研究ECR等离子体中的热电子,我们在一台常规ECR离子源——Lanzhou ECR ion source No.2 Modified（LECR2M）上进行了系统的轫致辐射谱的测量。通过对所测谱进行拟合,推导出一个代表...; 赵环昱张雪珍赵红卫孙良亭王辉马保华卢旺朱玉华; 关键词：ECR等离子体热电子; 文献传递

超导ECR源SECRAL轫致辐射谱的测量: 2007年; 热电子在ECR(Electron Cyclotron Resonance)源中有着非常重要的作用,为了研究ECR源的工作参数(微波功率、磁场等)对热电子的影响,我们对SECRAL(Superconducting ECR ion source with Advanced design in Lanzhou)等离子体在轴向发出的轫致辐射谱进行了系统的测量。从测得的轫致辐射谱中我们得到用来衡量热电子能量的参考量——光谱温度Tspe,并且对ECR源的几个工作参数与Tspe的关系进行了讨论。; 赵环昱赵红卫马新文孙良亭张雪珍; 关键词：SECRAL 热电子

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