国家高技术研究发展计划(2002AA312020)
- 作品数：3 被引量：8H指数：2
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- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 采用CCD技术的微型光机电系统光开关测试方法被引量：3
- 2005年
- 在研制基于微型光机电系统技术的光电器件过程中,需要精确测定器件在给定驱动条件下的运动情况。在对制作完成的光开关进行性能测试时,由于微型光机电系统光开关的几何尺寸的限制,如果要准确测定光开关微反射镜的运动位移,将会有一定的困难。提出了一种采用线阵CCD技术的光学测量方法,实现了对光开关悬臂梁在驱动电压作用下的旋转角度的精确测量。通过理论推导得到了悬臂梁扭转角度与可测量物理量的关系,通过求解方程得到了各个物理量的数值选择对于测量结果的影响,并且给定了测量时各个物理量的参考值。通过实验测量,误差小于10%,表明这是一种具有实际意义的测量方案。
- 孙东明董玮郭文滨刘彩霞王国东徐宝琨陈维友
- 关键词：集成光学光开关线阵CCD
- 扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析被引量：3
- 2006年
- 从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。
- 孙东明董玮玄伟刘彩霞王国东陈维友
- 关键词：微驱动器静电驱动
- MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应被引量：2
- 2005年
- 从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发, 求解雷诺方程, 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式. 通过求解动力学方程, 给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
- 孙东明董玮郭文滨刘彩霞王国东徐宝琨陈维友
- 关键词：雷诺方程倾斜下电极
