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316不锈钢表面沉积厚类金刚石膜层的性能研究被引量：7: 2012年; 采用脉冲辉光放电等离子体气相沉积法在316不锈钢表面沉积膜层较厚的类金刚石膜层。利用拉曼光谱仪(Raman)、X射线光电子能谱仪(XPS)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、光学显微镜、显微硬度计和摩擦磨损实验机分别对膜层组成和微观结构及机械性能进行了表征。研究发现,通过脉冲辉光放电等离子体气相沉积法,在316不锈钢表面制备的类金刚石膜层光滑致密;Raman分析得到的ID/IG和IT/IG比值分别为0.72和0.22;FT-IR分析可知膜层含有较多的CHx组成的sp3键;摩擦磨损试验得到膜层的摩擦系数低至0.100,XPS分析膜层sp3含量高达60.7%和光学显微镜测量膜层的厚度达到7mm。由此可知沉积类金刚石膜层后,可以显著地改善316不锈钢表面的机械性能。; 杨发展沈丽如高翚刘海峰王世庆; 关键词：表面性能

不同方法制备的类金刚石薄膜的XPS和Raman光谱的研究被引量：9: 2011年; 分别利用金属脉冲磁过滤真空阴极弧沉积法(FCVA)、直流磁控溅射法(SP)和脉冲辉光放电等离子体化学气相沉积法(PECVD)在硅片上沉积类金刚石膜层。并利用激光拉曼光谱法(Raman spectroscopy)和X射线光电子能谱法(XPS)对类金刚石膜层进行研究。通过研究分析发现,不同方法制备的类金刚石膜层的G峰位、D峰位、T峰位、半高宽、I(D)/I(G)值、I(T)/I(G)值和sp3键含量各不相同。其中,金属脉冲磁过滤真空阴极弧沉积法制备的类金刚石膜层的G峰位波数最大、I(D)/I(G)和半高宽最小、I(T)/I(G)最大、sp3键含量最高;直流磁控溅射法制备的类金刚石膜层的G峰位波数、I(D)/I(G)、I(T)/I(G)和sp3键含量处于三者之间,G峰的半高宽是最大的;脉冲辉光放电等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜层的G峰位波数sp3键含量最小、I(D)/I(G)最大、I(T)/I(G)最小。; 杨发展王世庆沈丽如陈庆川; 关键词：类金刚石拉曼光谱 X射线光电子能谱

15-5PH不锈钢表面多弧离子镀高结合性能TiN膜层研究被引量：4: 2012年; 多弧离子镀方法在15-5PH不锈钢材料表面制备结合力、硬度和致密性高的TiN涂层,提高材料表面硬度和抗高温氧化性能。分析结果显示过渡层成分、预热温度、工作气压及负偏压等主要参数对膜层性能影响明显。得到Ti为过渡层时,预热250℃,气压3.0Pa,600V偏压镀膜工艺参数最佳,制备的膜基结合力高于60N,表面硬度>1200HV0.05,膜层表面大液滴密度尺寸最低。膜层表面显微硬度、膜层沉积速率和膜基结合力随工作气压升高不同程度地先升高后降低。; 陈美艳童洪辉沈丽如金凡亚赵燕; 关键词：TIN 过渡层结合力

0Cr15Ni5Cu2Ti不锈钢表面TiN膜层制备: 2012年; 0Cr15Ni5Cu2Ti不锈钢基材表面多弧离子镀方法制备TiN硬质涂层。工件表面镀膜处理技术的关键是膜/基结合强度。分析预热温度和工作偏压对膜层的膜/基结合强度、膜层结构及表面硬度的影响,优化制备工艺,满足使用要求。结果显示预热温度和工作偏压对膜/基结合效果影响显著。镀膜处理后,工件表面硬度大于1200 HV0.05,膜/基结合力最小临界载荷高于60 N。; 陈美艳陈健沈丽如童洪辉金凡亚许泽金; 关键词：多弧离子镀 TIN 维氏硬度结合力

磁控溅射靶的磁路设计被引量：7: 2007年; 磁控溅射是现代最重要的镀膜方法之一,具有简单,控制工艺参数精确和成膜质量好等特点。然而也有靶材利用率低、成膜速率低和离化率低等缺点。研究表明磁场结构对上述问题有重要影响,本文介绍了一种磁控溅射靶磁路优化设计方案。并对改进的磁场结构和一般的磁场结构进行了分析比较,并给出了实验结果。; 韩大凯陈庆川王经权; 关键词：磁控溅射

15-5PH不锈钢基体上硬质膜层制备及性能研究被引量：3: 2013年; 对比不同的表面处理工艺,选择多弧离子镀方法在15-5PH不锈钢基材表面制备TiN硬质涂层。分析制备工艺对膜层的表面硬度、膜/基结合强度、膜层结构等基本物理性能的影响,进行工艺优化。结果显示在预热温度高于200℃后,TiN膜层结晶效果较好;负偏压达到600V后,膜/基间"伪扩散"层出现,膜/基结合性能明显提高;工作气压升高,膜层表面硬度、膜/基结合力和沉积速率先升高后下降,分别在4.0,3.0和2.5 Pa达到峰值。最终获得的TiN硬质膜层表面硬度大于2000HV0.05,膜/基结合力最小临界载荷高于70N。镀膜处理后,工件的各种性能测试均能满足具体使用要求。; 陈美艳沈丽如童洪辉金凡亚许泽金; 关键词：TIN 维氏硬度结合力

不同基体上沉积类金刚石膜的摩擦磨损性能研究: 采用脉冲辉光放电等离子体气相沉积法和阴极弧放电方法分别以硬质合金K10、硅片、GCr15钢和316LN不锈钢作为基体,在其表面成功沉积性能优越的DLC膜。利用拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、光学显微镜、显微硬度计和摩擦磨...; 杨发展沈丽如颜复秀陈庆川王世庆; 关键词：DLC膜摩擦磨损性能; 文献传递

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国家自然科学基金(10775046)