国家自然科学基金(60477040)
- 作品数：8 被引量：70H指数：4
- 相关作者：易新建李毅沈楠王双保陈四海更多>>
- 相关机构：华中科技大学上海理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金湖北省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术医药卫生理学更多>>
- 纳米VO_2薄膜的制备及其可见光透过率的改善被引量：28
- 2006年
- 阐述了一种纳米VO2薄膜材料新型结构的制备方法.先用反应离子束溅射和退火工艺在玻璃基底上制备出具有相变特性的薄膜.HRTEM及XRD显示这种薄膜含有纳米量级的VO2颗粒,四探针测试电阻温度关系表明该类材料相变温度已经靠近室温,变化温度下测得的红外透过曲线表明该材料在相变前后具有良好的红外光开关特性.再针对该薄膜材料较低的可见光透过率,提出S iO2减反膜设计,取得了较好的实验效果.为开展VO2薄膜材料在智能窗类光电产品的应用研究打下了基础.
- 沈楠李毅易新建
- 关键词：二氧化钒薄膜相变离子束溅射智能窗
- 蒸发制备金属薄膜实现MEMS工艺中电互连被引量：3
- 2005年
- 介绍了利用蒸发方法制备金属薄膜来实现MEMS工艺中的互连,采用剥离方法制作金属互连柱。分别在剥离层为双层AZ5214负胶、聚酰亚胺(ZKPI-305IID)和AZ5214负胶、ENPI剥离胶的情况下,实验并制备了金属Ni互连柱(双层AZ5214金属柱高1.86μm,聚酰亚胺(ZKPI-305IID)和AZ5214柱高2.0μm,ENPI柱高1.5μm),都起到了较好的互连作用。
- 黄磊陈四海何少伟史锡婷李敏杰李毅易新建
- 关键词：微机电系统互连电子束蒸发
- 剥离技术制作金属互连柱及其在MEMS中的应用被引量：8
- 2005年
- 介绍了利用AZ5214光刻胶及ZKPI-305IID型非光敏聚酰亚胺制作的两种不同的剥离层,即双层AZ5214和ZKPI+AZ5214。此两种剥离工艺简单易操作,可剥离出1μm金属镍柱,并可在MEMS工艺制作中获得了良好的效果。
- 史锡婷陈四海何少伟黄磊李毅易新建
- 关键词：微电子机械系统聚酰亚胺
- 非制冷980nm泵浦激光器封装技术被引量：3
- 2006年
- 文中对非制冷980 nm 泵浦激光器的封装技术进行了研究。整个封装技术涉及光学、电学、热学、机械等,精度达微米数量级。采用光纤直接耦合的小型化全金属化封装工艺,以及双布拉格光纤光栅波长锁定技术,最终封装出小型化980 nm 泵浦激光器,其在0～70℃工作温度范围内的出纤功率达120 mW,且具有较好的边模抑制比和波长稳定性。为满足光纤放大器对泵浦激光器大功率、长寿命、高可靠、小尺寸、低功耗、低成本的要求奠定了基础。
- 李毅蒋群杰武斌张天序
- 关键词：非制冷泵浦激光器封装技术
- 新型无TEC的非制冷IRFPA读出电路研究被引量：4
- 2006年
- 为了降低非制冷红外焦平面阵列的功耗,研究了去除热电制冷器(TEC)等温度稳定装置的读出电路。通过对微测辐射热计的电阻温度特性的分析,设计了一种新型无需温度稳定装置的读出电路,该电路的Flash存储器存储不同温度下的校正系数,温度传感器实时检测探测器的环境温度,从Flash中取出相应的温度校正系数送入数模转换器(DAC),通过DAC的电压输出来控制探测器偏流以进行环境温度补偿。HSPICE模拟结果表明,电路输出与探测器工作的环境温度无关,系统的总功耗下降了80%,同时电路噪声保持在一个较低的水平。
- 陈西曲李祥辉易新建王双保
- 关键词：读出电路非均匀性校正微测辐射热计非制冷红外焦平面阵列
- 非制冷980nm泵浦激光器封装技术
- 文中对非制冷980 nm泵浦激光器的封装技术进行了研究。整个封装技术涉及光学、电学、热学、机械等,精度达微米数量级。采用光纤直接耦合的小型化全金属化封装工艺,以及双布拉格光纤光栅波长锁定技术,最终封装出小型化980 nm...
- 李毅蒋群杰武斌张天序
- 关键词：非制冷泵浦激光器封装技术
- 文献传递
- 用激光拉曼光谱区分胃癌变细胞与正常细胞被引量：16
- 2007年
- 利用激光拉曼光谱对胃癌细胞及正常胃细胞进行了对比检测,对胃癌细胞特征拉曼峰作了初步探讨,发现胃癌患者标本的特征拉曼峰与非胃癌患者标本的光谱有明显的不同。实验发现,浓度为每mL1.25×105个胃癌细胞的样品在经过若干天培养后均能够被检测出胃癌细胞的特征拉曼峰,分别位于特定波长583,633,656nm处。这是几个很少见诸报道的新拉曼光谱峰。不论是特征拉曼峰,还是在胃癌细胞及正常胃细胞的几个共有的拉曼峰674,707,773,799nm处,拉曼光谱强度都是随血清中癌细胞浓度的增加而增加。激光拉曼光谱分析有可能发展成为一种快速有效的癌细胞检测方法。
- 黄鹰陶家友蔺蓉李毅侯晓华易新建
- 关键词：激光拉曼光谱胃癌细胞光电检测
- 低温热致变色VO_2薄膜的制备及应用被引量：9
- 2005年
- 提出了一种制备低温热致变色VO2新型薄膜材料的工艺方法。在玻璃基底的Si3N4薄膜上溅射沉积VOx薄膜,再经还原性气氛退火,最终得到了nm量级的VO2颗粒。四探针测试电阻温度关系表明,该类材料相变温度已经靠近室温。不同温度下测试的红外透过曲线表明,该材料在相变前后有良好的红外开关特性,能够在智能窗等各类光电产品中获得应用。
- 沈楠王双保黄光李毅易新建
- 关键词：VO2薄膜相变离子束溅射智能窗
- 基于半导体和金属相变的热光效应光调制器被引量：3
- 2006年
- 基于二氧化钒薄膜在约68℃半导体和金属间的可逆相变,通过控制温度来实现高透过率到高反射率的转换,实现对光的调制作用.通过表面微机械低热质单元来实现隔热,保证各单元在无串扰的情况下具有独立的开关功能.在工作过程中,单元的温度通过单元上的集成电阻或空间寻址热辐射源来控制.采用微机械工艺成功制备出32×32二氧化钒热光效应光调制器阵列,该热光效应调制器由于没有可移动的部件,其最大的优点就是高可靠性和低制造成本.
- 李毅易新建张天序
- 关键词：光调制器二氧化钒薄膜相变热光效应
