国家教育部博士点基金(20120042110031)
- 作品数：12 被引量：15H指数：3
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- 相关机构：东北大学辽宁石油化工大学中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司更多>>
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- 相关领域：理学金属学及工艺机械工程化学工程更多>>
- 多孔金属薄膜阻尼减振微观机理研究被引量：8
- 2015年
- 研究了多孔金属薄膜的阻尼性能和微观机理.采用分子动力学方法及扫描电镜(SEM)原位观察实验手段对多孔金属薄膜阻尼进行研究,得出金属薄膜应变滞后于应力周期性变化以及弹性势能周期性衰减的规律,并通过应变滞后应力的时间差求得损耗因子;从微观结构上可看出,在薄膜孔缺陷附近<110>晶向上经历了位错产生、并且位错呈阶梯状向前发射的变化;在SEM原位拉伸、卸载实验中观察到有微裂纹的萌生、斜向阶梯扩展、收缩及消失的周期过程.结果表明:在周期载荷作用下,多孔金属薄膜的孔缺陷附近产生的位错可以挣脱开弱钉扎点并限制在强钉扎点上,由于位错的变化及附近晶界间的相对滑动产生内摩擦,消耗了系统的部分弹性势能,引起金属薄膜的阻尼减振效应,从而揭示了多孔金属涂层阻尼产生的微观机理.
- 姜文全杜广煜巴德纯杨帆
- 关键词：分子动力学阻尼性能内耗
- 金属薄膜裂纹扩展的分子动力学研究被引量：3
- 2013年
- 研究了冲击载荷作用下金属薄膜表面裂纹扩展的微观机制,采用分子动力学方法对Cu薄膜进行模拟计算,求得冲击载荷作用下带有表面裂纹模型的系统动能、应力、应变及微观结构变化图.当系统从压应力转变为拉应力状态时,裂纹上的原子获得较大动能,裂纹尖端原子开始发生溅射,继而晶格内部出现空位.当拉应力达到3643.85 MPa时,空位扩大形成裂尖钝劈现象,裂纹发生扩展.结果表明:在高速冲击载荷作用下,金属薄膜裂纹扩展主要原因是系统能量和应力的变化使得微裂纹尖端出现钝劈损伤.
- 姜文全杜广煜巴德纯查英英
- 关键词：冲击载荷金属薄膜分子动力学
- 线性微波化学气相沉积制备SiN_x薄膜的微结构及光学性能研究被引量：1
- 2015年
- 利用自主研发的线性微波化学气相沉积系统在不同微波功率、微波占空比、基片温度、特气比例条件下制备了SiNx薄膜.通过扫描电子显微镜、椭圆偏振仪等表征测量技术,研究了不同工艺参数对SiNx薄膜表面形貌、元素配比、折射率、沉积速度的影响,并探讨了薄膜元素配比、折射率、沉积速度间的关系.结果表明:利用线性微波沉积技术,不同工艺参数下制备的SiNx薄膜组成元素分布均匀,同时具有平整的表面状态;特气比例和微波占空比是影响薄膜折射率的最主要因素,薄膜折射率在1.92—2.33之间连续可调;微波功率、微波占空比、沉积温度、特气比例都对SiNx薄膜沉积速度影响较大,制备的SiNx薄膜最大沉积速度为135 nm·min-1.
- 张健巴德纯赵崇凌刘坤杜广煜
- 关键词：氮化硅薄膜折射率
- 纳米管道中离子分布模型的研究
- 2013年
- 基于纳米管道内离子浓度与电势变化的规律,针对泊松-玻尔兹曼模型的几种改进方法进行比较说明,并提出使用的限制条件。通过对理论的研究分析,泊松-玻尔兹曼的分析解很难获得,而仿真的数值解却容易求得,这个结论更有利于进一步的理论研究。
- 张巍巴德纯刘坤
- 关键词：电势
- 工艺气体比例对微波MOCVD沉积氧化铝膜性能影响
- 2016年
- AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N_2O和TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试分析。实验结果表明,随着N_2O比例增大,薄膜中O/Al原子比例有上升趋势;膜层沉积速度显著降低;膜层折射率开始趋于稳定而后迅速降低。所以,工艺气体比例对LMW-MOCVD沉积氧化铝膜的性能有明显影响。
- 张健巴德纯赵崇凌杜广煜刘坤
- 关键词：氧化铝薄膜折射率
- 微孔金属薄膜结构变化及阻尼性能研究
- 2016年
- 研究了微孔金属薄膜的微观变化和阻尼性能,采用扫描电镜(SEM)原位观察实验方法对带孔金属薄膜微观结构和阻尼进行分析。分析得到:交变载荷拉伸加载过程中微纳米孔缺陷试件经历了微裂纹萌生、微裂纹扩展及多孔裂纹重叠等一系列变化过程,而卸载过程中,微裂纹逐渐消失。同时得出金属薄膜应变滞后于应力周期性变化的规律,并求出损耗因子为0.00442。结果表明:在交变载荷作用下,微孔附近微裂纹的萌生、扩展及多孔处裂纹叠加变化促使外载荷的机械能以热能形式散失,是金属薄膜具有一定的阻尼减振性能的原因之一。
- 姜文全杜广煜巴德纯杨帆
- 关键词：金属薄膜阻尼性能内耗
- 冲击载荷作用下金属薄膜缺陷的多尺度分析被引量：1
- 2014年
- 应用多尺度方法研究金属薄膜-基体结构中的缺陷在冲击载荷条件下的变化规律和力学行为。多尺度方法结合了分子动力学和有限元方法,分子动力学方法用于纳米薄膜中的局部缺陷区域,有限元方法用于整个膜-基结构,微/宏观尺度之间的握手区通过FEAt方法进行连接。模拟计算既包括了系统宏观尺度上的模型位移、应力场等,又包括了微观尺度上原子位置坐标、缺陷附近原子结构变化等。模拟结果表明:在冲击载荷作用下,冲击波通过基体传递到薄膜;在宏观上,体现为膜-基结构应力的变化;在微观上,缺陷附近原子发生溅射。可见由于冲击作用产生的应力集中和缺陷处原子溅射导致膜-基结构中的微缺陷进一步扩大,造成薄膜失效。
- 姜文全杜广煜巴德纯杨帆查英英
- 关键词：多尺度金属薄膜冲击载荷
- 微波化学气相沉积制备AlO_x薄膜及钝化晶硅性能的研究
- 2015年
- 通过线性微波化学气相沉积（LMW-PECVD）技术在P型单晶样品上高生长速度下制备了高质量的AlOx薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析.结果表明,AlOx薄膜的厚度和折射率都对晶硅的钝化效果有影响,薄膜厚度在20～30 nm之间、折射率在1.6～1.65 之间出现了理想的钝化效果;热处理对AlOx薄膜钝化效果的影响较为复杂,理想的热处理温度在350～400 ℃之间.
- 张健巴德纯张振厚
- 关键词：氧化铝薄膜少子寿命
- 线性微波化学气相沉积制备AlO_x/SiN_x双层薄膜及钝化性能的研究
- 2016年
- 通过线性微波化学气相沉积技术在P型单晶样品上制备了AlO_x/SiN_x双层薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析。结果表明,线性微波化学气相沉积技术可以制备出高生长速度、高质量的AlO_x薄膜和SiN_x薄膜,AlO_x薄膜生长速度达到了180nm/min,SiN_x薄膜生长速度达到了135nm/min;经过AlO_x/SiN_x双层薄膜钝化的P型单晶硅有效少子寿命达到了2300μs,且经过800℃产线烧结工序,少子寿命下降幅度很低,热稳定性优异。
- 张健巴德纯张振厚赵崇凌
- 关键词：氧化铝薄膜氮化硅薄膜
- 烧结条件及掺杂对块体Nd0.55Li0.35TiO3结构及表面性质的影响
- 本文研究了Nd0.55Li0.35TiO3块体材料烧结时降温速度,Ti位Nb掺杂对其晶体结构和微观形貌的影响,并分析了不同微观形貌对金属薄膜（Au）沉积的不同作用。结果显示,淬火条件下获得的Nd0.55Li0.35TiO...
- 巴要帅巴德纯
- 关键词：钙钛矿微结构
