国家自然科学基金(50135054)
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
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- 单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究
- 对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比。研究表明:谐振振幅是直流偏置...
- 赵江铭沈雪谨张永宇陈晓阳
- 关键词：MEMS
- 文献传递
- 基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链被引量：3
- 2006年
- 将宏机械柔性铰链设计思想应用到硅微机械机构设计中,采用表面硅牺牲层工艺制作了结构层厚度为2 μm 的多晶硅薄膜型微机械柔性铰链及在线测试机构,对微米尺度柔性铰链的微机械性能进行了理论和试验研究。以直圆型多晶硅薄膜柔性铰链为例,对其转动刚度采用现有宏机械柔性铰链理论的计算值为8 N·μm／rad,试验测试结果为120N·μm／rad。宏理论计算和微机械测试结果之间的偏差较大,这表明在微尺度效应的影响下,宏机械柔性铰链理论模型不能直接用于薄膜型硅微机械柔性铰链的计算。根据试验数据对宏机械柔性铰链计算公式进行了修正,得到了描述薄膜型硅微机械柔性铰链静态特性的近似经验公式,可满足薄膜型硅微机械柔性铰链的设计与计算。
- 张永宇陈晓阳赵江铭
- 关键词：微制造多晶硅柔性铰链微机电系统
- 单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究被引量：1
- 2005年
- 对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比.研究表明:谐振振幅是直流偏置电压的线性函数,是交流驱动电压的二次幂函数;相同条件下,单侧支撑微谐振器的振幅输出大于双侧支撑微谐振器的振幅输出.
- 赵江铭沈雪谨张永宇陈晓阳
- 关键词：MEMS
- 热致动硅微夹钳实验研究
- 利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作。电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制。根据所建电热微致动嚣理论模型,通过分别测试...
- 张永宇沈雪瑾赵江铭陈晓阳
- 关键词：多晶硅微机电系统
- 文献传递
- 热致动硅微夹钳实验研究被引量：1
- 2005年
- 利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试微致动器在空载和驱动工况下的输出位移大小,提出了一种通过公式换算间接确定硅微夹钳驱动力的方法.实验结果表明,电热致动器驱动的硅微夹钳具有很好的电压可控性,最高工作电压可达25V.硅微夹钳的开合位移依热致动器的规格不同在0.7～4μm之间.
- 张永宇沈雪瑾赵江铭陈晓阳
- 关键词：多晶硅微机电系统
