山东省火炬计划(11160004040214)
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
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- 新型金属氧化物薄膜气敏元件基材料的开发
- 2009年
- 根据电导气敏机理的氧负离子理论,提出制备n型金属氧化物气敏基材料的理论,指出禁带宽度Eg>2 eV的金属氧化物材料都有可能研制薄膜气敏元件,并通过Fe2O3/1 %Sb2O3和TiO2薄膜元件的制备和表征,论证了该理论的正确性.
- 田芳张颖欣张礼侯秀萍裘南畹
- 关键词：金属氧化物
- 粉末溅射金属氧化物气敏薄膜和元件 Ⅰ.粉末溅射金属氧化物气敏薄膜
- 2008年
- 利用反溅,发展了粉末溅射工艺;指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性;给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果;给出了SnO2(100-x)/CeO2(x)最佳灵敏度的掺杂x%的范围;给出了灵敏度随膜厚变化的特征,以及一些薄膜的最佳膜厚lx的数值;给出了响应时间随膜厚变化的规律.
- 田芳郭晓丽张颖欣王倩裘南畹
- 关键词：粉末溅射
- ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程被引量：1
- 2007年
- 提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变Δtrea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变Δtrea的关系式;得到了表面反应的速率方程一般形式,它包括了目前常用的两种经验公式:双曲线型和幂函数型.
- 李长庆邢建平黄少艳徐勇裘南畹
- 关键词：ZNO速率方程
- ZnO气敏薄膜的实用化——一种新的气敏基材料
- 2007年
- ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现。最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al_2O_3)和适当选择溅射参数得到掺杂稳定,结构稳定,性能良好的ZnO薄膜酒敏元件。通过对芯片和接线柱的超声双点焊获得超小型悬挂式的气敏元件,并用它做出可检测100ppm和500ppm两种酒气浓度的报警器。
- 黄少艳邢建平李长庆徐勇裘南畹
- 关键词：ZNO薄膜粉末溅射
- 最佳晶粒尺寸和介观效应
- 2006年
- 理论研究表明:存在最佳晶粒尺寸是一种新的介观效应,它来自当晶粒尺寸缩小到一定程度时反映吸附氧负离子的Fermi统计失效;根据当晶粒尺寸缩小到特征长度rm时晶粒将保持电中性的Kubo理论,对Fermi统计公式进行修改,从而给出了最佳晶粒尺寸最佳晶粒尺寸等于2rm的理论结果.用Kubo理论电子逸出功公式估算了rm与最佳晶粒尺寸r0*的数值,其结果与实验一致.
- 袁庆华李蕾刘文利李建明裘南畹
- 关键词：晶粒尺寸
