山东省自然科学基金(Y2007F49)
- 作品数：2 被引量：20H指数：2
- 相关作者：丁玉成刘红忠卢秉恒兰红波阙艳荣更多>>
- 相关机构：西安交通大学山东大学更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 常温纳米压印软模具变形机理研究被引量：2
- 2009年
- 通过对软模具变形的理论分析、数值模拟和实验验证的系统研究,以期揭示模具变形的机理、规律和关键影响因素,为探索减小模具变形策略和方法,提高纳米压印复型精度奠定理论基础,以实现高保真度纳米或亚纳米图型的转移.
- 兰红波丁玉成刘红忠阙艳荣陶巍巍李寒松卢秉恒
- 关键词：纳米压印数值模拟
- 纳米压印光刻模具制作技术研究进展及其发展趋势被引量：18
- 2009年
- 模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography,NIL)与传统光学光刻工艺最大的区别所在,模具作为压印特征的初始载体直接决定着压印图型的质量,要实现高质量的压印复型,必须要有高质量的压印模具。不同于传统光学光刻使用的掩模(4X),纳米压印光刻使用的是1X模版,它在模具制作、检查和修复技术面临更大挑战。当前,模具的制作已经成为NIL最大的技术瓶颈,而且随着纳米压印光刻研究的日益深入以及应用领域的不断扩大,NIL模具的制造将变的越来越重要并面临着更加严峻的挑战。因此,模具的制造已经成为当前纳米压印光刻一个最重要的研究热点,纳米压印光刻发展的历史也是压印模具不断发展创新的历史。综述了当前国内外各种纳米压印光刻模具制作技术研究进展,并指出三维模具、大面积模具和高分辨率模具的制作、模具缺陷的检查和修复是当前及其将来最迫切的需求、最主要的研究热点和挑战。
- 兰红波丁玉成刘红忠卢秉恒
- 关键词：纳米压印光刻
