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安徽省科技攻关计划(07020203009)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
戴结林
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1篇
2009
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sol-gel法制备掺Al的ZnO薄膜及其表面形貌表征
被引量:4
2009年
用原子力显微镜,观察了sol-gel法制备之掺Al的ZnO薄膜的表面形貌,计算了薄膜的表面高度–高度相关函数H(r)-r,并用分形表面高度–高度相关函数的唯象表达式,对薄膜表面高度–高度相关函数进行拟合。结果表明:掺Al的ZnO薄膜表面具有典型的分形特征,Al掺杂量的增加和退火温度升高,使掺Al的ZnO薄膜的表面粗糙度w从1.39增大到5.47,分形维数Df由2.12减小到2.08,水平相关长度ξ从31.25增到76.17。
戴结林
关键词:
ZNO薄膜
表面形貌
分形
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