国家高技术研究发展计划(2003AA404040)
- 作品数：5 被引量：23H指数：3
- 相关作者：张亚军王权岱卢秉恒黄军容伊福廷更多>>
- 相关机构：西安交通大学中国科学院长春工业大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺冶金工程电子电信机械工程更多>>
- 基于RTLinux的微细电火花加工软数控系统设计被引量：2
- 2006年
- 以三维微细电火花加工为目标,开发基于工控机和RTLinux平台的微细电火花加工软件数控系统。在前期设计的系统平台基础上,利用模块化方法设计了RTLinux内核下的soft-CNC模块,实现了微细电火花加工数字控制系统由软件完成,并提出了基于双缓冲机制的大数据量传输方法。三维微细电火花加工实验证明了系统的可靠性与实用性。
- 鲁培李勇佟浩崔晶周强
- 关键词：微细电火花加工RTLINUX
- 基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺被引量：3
- 2005年
- 针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.
- 王权岱段玉岗丁玉成卢秉恒张亚军
- 关键词：压印光刻微电子机械系统
- 粉末冶金制备Ti_3SiC_2的研究进展被引量：6
- 2006年
- 兼有金属和陶瓷性能的Ti3SiC2是一种三元层状碳化物材料,既有象陶瓷那样的高温性能,又有类似金属的导热性和导电性,应用前景十分广阔。机械合金化和反应烧结是制备Ti3SiC2的重要方法。文中介绍了Ti3SiC2结构、性能,以及制备Ti3SiC2的一些粉末冶金方法。
- 梁宝岩金松哲刘鹤周振华
- 关键词：TI3SIC2粉末冶金陶瓷性能
- 纳米压印光刻中模版与基片的平行调整方法被引量：3
- 2005年
- 概述了纳米压印光刻的原理,以及纳米压印光刻工艺中模版与基片的平行度对压印质量的影响,分析了国内外几种纳米压印光刻工作台的结构与特点,并对其优缺点进行了评价。
- 张亚军段玉刚卢秉恒王权岱
- 关键词：压印光刻柔性铰链
- 基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究被引量：10
- 2004年
- 比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异形微细孔。并通过进一步调整电火花加工工艺参数 ,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度。
- 邹丽芸张院春彭良强黄军容伊福廷张菊芳韩勇
- 关键词：微细加工LIGA技术电火花加工
