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山东省自然科学基金(Y2005917)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：王卿璞吴小惠马洪磊张锡健龚小燕更多>>
相关机构：山东大学更多>>
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相关领域：理学电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇退火
  • 1篇溅射
  • 1篇光学
  • 1篇光学特性
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇山东大学

作者

  • 1篇龚小燕
  • 1篇张锡健
  • 1篇马洪磊
  • 1篇吴小惠
  • 1篇王卿璞

传媒

  • 1篇发光学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
退火对ZnO薄膜光学特性的影响被引量：8
2008年
用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备出ZnO薄膜,通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和光致发光(PL)谱等研究了退火温度对ZnO薄膜结构和光学性质的影响。测量结果显示,所制备的ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,具有沿c轴的择优取向;随着退火温度的升高,(002)XRD峰强度和平均晶粒尺寸增大,(002)XRD峰半高宽(FWHM)减小,光致发光紫外峰强度增强。结果证明,用射频磁控溅射法通过适当控制退火温度可得到高质量ZnO薄膜。
张锡健王国强王卿璞龚小燕吴小惠马洪磊
关键词：ZNO薄膜射频磁控溅射退火
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共1页<1>
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