国家科技攻关计划(2002BA906A26)
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
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- 相关机构：中国计量科学研究院清华大学更多>>
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- 相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
- 计量型原子力测头用于纳米台阶高度样板的测量被引量：4
- 2008年
- 为"大范围纳米结构测量系统"研制的计量型原子力测头,采用光束偏转法检测探针悬臂偏转。原子力测头的布置在X、Y方向无阿贝误差。在50 mm×50 mm×2 mm的测量全程内,测头与样品的相对位移可以由激光干涉仪直接读数,因此可溯源到米定义国家基准。激光波长由Elden公式计算修正。使用德国物理技术研究院(PTB)提供的台阶高度样板一套,所得测量结果与PTB测量结果进行比对,结论为:测量系统的测量重复性不大于0.82 nm;比对系数En≤1,验证了测量结果是准确的,测量不确定度评定是合理、可信的。
- 卢明臻高思田杜华崔建军
- 关键词：计量学原子力显微镜阿贝误差激光干涉仪
- 计量型原子力测头模型研究及性能分析被引量：4
- 2007年
- 建立了具有立体光路的光束偏转法原子力测头的模型,给出测头的放大能力,证明光路不会对光束偏转法的分辨力造成影响.分析了光路特性,说明光斑运动轨迹与规律.以此为基础完成了一个用于纳米计量的原子力测头,测头读数可溯源.测头的重复性通过实验验证,测头信号实验标准差为0.318nm.该测头应用在“2.5维大范围纳米结构测量系统”中,对台阶高度样板进行测量,取得了良好结果.
- 卢明臻高思田杜华崔建军
- 大范围纳米结构测量系统原子力测头的研究
- 本文介绍了大范围纳米结构测量系统中的计量型原子力测头。测头采用光束偏转法,测头布置在 X、Y 方向无阿贝误差。测头与样品的相对位移可以由激光干涉仪直接读数,因此可溯源到米定义国家基准。原子力测头经实验校准,证明其输出信号...
- 卢明臻高思田杜华崔建军
- 关键词：阿贝误差激光干涉仪
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