贵州省教育厅自然科学研究项目(KY[2012]051)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 相关作者：陈德良支启军令狐荣锋吴位巍杨向东更多>>
- 相关机构：贵州师范学院贵州大学凯里学院更多>>
- 发文基金：贵州省教育厅自然科学研究项目贵州省科学技术基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- 基于矩阵积分法优化光刻部分相干成像模型
- 2016年
- 基于矩阵积分法实现了Matlab对光刻部分相干二维成像的模拟,验证了Matlab编写的部分相干程序的可行性,加入了离焦对光刻分辨率的影响。通过建立部分相干光光刻仿真模型,并在二极照明方式下,对离焦对光刻成像的影响进行了模拟计算。结果表明,矩阵积分法降低了程序运算所用时间,微小的离焦对光刻部分相干成像影响巨大,必须考虑离焦对光刻分辨率造成的影响。
- 彭清维陈德良
- 关键词：光刻工艺
- 激光诱导等离子体加工石英微通道的实验与理论研究
- 2013年
- 利用调Q的Nd…YAG激光器输出的1064nm纳秒脉冲激光聚焦在石英上采用激光诱导等离子体法加工微通道,加工出的微通道在显微镜下没有观察到热裂纹,通道深度可达4mm。强激光辐照石英,石英吸收激光能量气化、电离,形成等离子体,发生光学击穿,高温等离子体烧蚀石英形成微通道。研究了强激光辐照下等离子体形成的机理以及介电常数、折射率、反射率等光学性质,分析了光学击穿的关键自由电子密度,并计算了光学击穿长度。
- 李世雄白忠臣陈德良秦水介
- 关键词：激光技术激光诱导等离子体微通道
- 自由基分子BeH外电场特性被引量：2
- 2016年
- 本文采用量子力学从头算方法,运用密度泛函B3LYP方法在6-311G基组水平上对不同外加电场(-0.02—0.02 a.u.)下自由基分子BeH基态的稳定电子结构进行了计算,研究了外电场对BeH分子键长、能量、电荷分布、能级分布、能隙及红外光谱的影响规律.结果表明,随着H→Be方向外电场的增加,分子键长、原子电荷值、偶极矩以及红外强度递减;而能量、能隙和振动频率递增.另外,随着反向电场(Be→H)的增加,能量较大幅度升高.
- 徐梅令狐荣锋支启军杨向东吴位巍
- 关键词：电子结构外电场物理特性
