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湖南省教育厅科研基金(12C0108)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：李志明胡仕刚江海鹰李金屏甘小冰更多>>
相关机构：湖南科技大学深圳大学济南大学更多>>
发文基金：湖南省教育厅科研基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化物
  • 1篇有限元
  • 1篇温度场
  • 1篇均匀性
  • 1篇化物
  • 1篇MOCVD
  • 1篇大尺寸

机构

  • 1篇济南大学
  • 1篇深圳大学
  • 1篇湖南科技大学

作者

  • 1篇甘小冰
  • 1篇李金屏
  • 1篇江海鹰
  • 1篇胡仕刚
  • 1篇李志明

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
大尺寸电磁加热的氮化物MOCVD反应室温度场的仿真与优化被引量：2
2013年
本文通过对电磁加热八英寸晶片的立式氮化物MOCVD反应室建立数学模型,利用有限元法,对传统的加热结构进行了优化。为提高晶片温度分布的均匀性,本文提出了矩形槽和圆环段形槽两种不同槽结构的基座,通过对这两种槽结构基座的优化分析发现,与传统用的基座相比,这两种槽结构的基座改变了传统基座中的传热方式和不同方向的传热速率,从而提高了晶片温度分布的均匀性,这有利于提高薄膜生长的质量。
李志明江海鹰李金屏甘小冰胡仕刚
关键词：MOCVD有限元均匀性
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