国家高技术研究发展计划(2004AA404260)
- 作品数：43 被引量：192H指数：8
- 相关作者：刘冲孙明磊宗光华杜立群刘景全更多>>
- 相关机构：大连理工大学北京航空航天大学上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺机械工程更多>>
- 微流控芯片微通道热压成形中塑料流动的仿真被引量：1
- 2006年
- 目前,PMMA微流控芯片微通道成形过程中热压参数的调整周期很长.针对这一问题,本文基于热粘弹性理论建立微通道成形过程中的热-应力耦合场模型,利用有限元软件对微通道热压成形过程进行了仿真,通过对不同压力、温度和时间下微通道成形的仿真,得出了最优化的工艺参数.实验结果验证了仿真结论,可以实现对微流控芯片微通道热压成形过程的快速有效的控制.
- 尉元杰刘冲李经民彭佳祝连义
- 关键词：热粘弹性仿真
- 基于图像分析的显微视觉照明自动优化被引量：2
- 2008年
- 针对手工调节照明强度、人为评测图像质量给全自动微装配/微操作带来功能局限,本文从图像高频信息分析(IHFA)的角度提出图像质量评测方法。该方法利用基于时域的梯度函数或基于频域的傅里叶变换对图像的高频能量进行计算,从而实现最佳照明强度寻优。开发了照明自动调控系统,并以此硬件为基础进行显微视觉照明实验。实验表明,图像平均亮度相应变化的平均线性度可达1.3%;在适当的照明强度下,显微图像的高频信息最大;另外,传统的图像质量评价(IQA)体系侧重于评测人类视觉感知的效果,而基于IHFA的测度函数则更好地反映了图像的信息传感功能。
- 孙明磊宗光华毕树生
- 关键词：视觉照明
- SU-8胶光刻工艺参数优化研究被引量：14
- 2005年
- 对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间增加先减少后增加,有一个极小值;侧壁角度先增加后减少,有一个极大值。通过优化光源波长、曝光时间以及显影时间三个主要工艺参数,可以获得侧壁角度为90.64°正角的300μm厚光刻胶微结构和侧壁角度为89.98°近似垂直的500μm厚光刻胶微结构。
- 张晔陈迪张金娅倪智萍朱军刘景全
- 关键词：UV-LIGA技术SU-8胶高深宽比微结构
- 微型齿轮精密微塑性成形工艺研究
- 为了进行微塑性成形工艺研究,设计了一套精密微塑性成形系统。系统采用宏动/微动相结合的驱动模式,既可获得高的位移精度又可以实现较大的冲头行程,在成形过程中对工艺参数进行实时采集和记录。使用该系统进行了微型齿轮的微塑性成形工...
- 单德彬王春举周健郭斌
- 关键词：微型齿轮
- 文献传递
- 集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究
- 2005年
- 研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.
- 罗怡刘冲刘军山徐敏
- 关键词：电化学微流控芯片
- 微细阵列型孔的冲压与电火花复合加工技术研究
- 提出一种微细冲压加工和微细电火花加工交叉结合的微细阵列型孔复合加工方法。尺寸较大的过渡型腔采用微细冲压加工,以提高加工效率和保证加工尺寸的一致性;型孔喷口的最小特征尺寸采用微细电火花逐层扫描加工得到。设计制作了专用的微小...
- 李勇崔晶李向阳鲁培佟浩陈旭鹏
- 关键词：微细电火花加工
- 文献传递
- 变温蠕变实验的COP微流控芯片热压制备被引量：7
- 2007年
- 采用热压方法制备了COP微流控芯片。由于温度对微结构热压成形的质量影响最大,基于材料的粘弹性特性,通过变温准蠕变实验获得热压参考温度Tr,即从材料玻璃点温度以下开始,以1.5℃/min的温升速率,在热压工作压力下热压聚合物基片,通过温度-位移实时采集系统获得材料的温度-形变曲线,曲线的拐点对应的温度即是热压参考温度。实验证明了在该温度下热压成形具有高复制精度和低整体变形,微结构宽度和深度方向的复制精度分别达到97.6%和94.3%。电泳实验和DNA分析实验得出COP芯片具有良好的生物兼容性,适用于生化分析。
- 罗怡王晓东杨帆刘冲
- 电沉积技术制作高聚物微流控芯片模具被引量：5
- 2005年
- 利用电沉积技术制作微流控芯片金属模具,方法是:使用新型超厚光刻胶SU8胶作近紫外光刻,并在光刻后的图案上电沉积金属Ni,之后去胶,最终获得金属模具.该法减小了电沉积工作量.采用反向电流预处理基底、并适当增加电铸液的添加剂以及脱模后真空退火,即可明显提高电沉积微结构与基底的结合力.用此金属模具成功热压了PMMA,制成了微流控芯片.
- 罗怡褚德南娄志峰刘冲王立鼎
- 关键词：电沉积光刻结合力
- 无阀微泵泵腔中流体流动的有限元模拟与分析被引量：2
- 2005年
- 采用有限元仿真软件ANSYS/FLOTRAN对收缩/扩张型无阀微泵泵腔中流体流动的全过程进行了数值模拟和仿真分析,得到了流体在整个泵腔中的流场构形和流动特性。结果表明,泵腔结构单元的弯道效应与出/入口处流体速度分布的非线性混合将导致腔中的局域涡流现象。通过对3个简单模型的模拟计算,证明了缓冲腔的不同结构对无阀微泵的整流效率有较大影响,是泵腔结构参数优化设计不可忽视的重要环节。
- 王伟刘世炳陈涛蒋毅坚陈继民左铁钏
- 关键词：微型无阀泵整流效率有限元模拟流体流动无阀微泵泵腔
- 集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究
- 研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法。在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刘胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极。在另一玻璃基片上采用湿法...
- 罗怡刘冲刘军山徐敏
- 关键词：电化学微流控芯片
- 文献传递
