国家科技重大专项(2008ZX01035)
- 作品数:2 被引量:1H指数:1
- 相关作者:沈泫史峥更多>>
- 相关机构:浙江大学北京华大九天软件有限公司更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:自然科学总论自动化与计算机技术更多>>
- 基于光刻模型的光学邻近校正切分优化方法被引量:1
- 2011年
- 在处理二维图形时需要耗费大量时间调试配方。为此,提出一种基于光刻模型的切分优化方法。采用纹波抑制的切分方法,并根据空间光强曲线的极值点分配切分片段,通过格点搜索选取方法参数,从而获得最优切分方案。实验结果表明,该方法能获得稳定的配方调试时间,且与参考配方结果相比,具有较好的光学邻近校正精度,可使边位置误差平均降低5%。
- 沈泫史峥
- 关键词:光学邻近校正
- 熊猫九天全定制版图编辑工具stretch功能原理与实现
- 2009年
- 对熊猫九天全定制物理版图编辑工具stretch功能原理和实现予以论述。针对不同的物理版图数据path、wire、ellipse、polygon、rectangle、donut等介绍了相应的stretch原理,并给出了编辑环境对该功能实现的结果,提出了产品化过程中注意的一些问题。市场实践表明,该功能能够正确方便地帮助IC物理版图设计工程师完成设计。
- 张晨星李起宏王勇
- 关键词:EDASTRETCH