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国家科技重大专项(2008ZX01035)

作品数:2 被引量:1H指数:1
相关作者:沈泫史峥更多>>
相关机构:浙江大学北京华大九天软件有限公司更多>>
发文基金:国家科技重大专项更多>>
相关领域:自然科学总论自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇自然科学总论

主题

  • 1篇定制
  • 1篇切分
  • 1篇全定制
  • 1篇光学邻近校正
  • 1篇EDA
  • 1篇STRETC...

机构

  • 1篇浙江大学
  • 1篇北京华大九天...

作者

  • 1篇史峥
  • 1篇沈泫

传媒

  • 1篇计算机工程
  • 1篇中国集成电路

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2009
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
基于光刻模型的光学邻近校正切分优化方法被引量:1
2011年
在处理二维图形时需要耗费大量时间调试配方。为此,提出一种基于光刻模型的切分优化方法。采用纹波抑制的切分方法,并根据空间光强曲线的极值点分配切分片段,通过格点搜索选取方法参数,从而获得最优切分方案。实验结果表明,该方法能获得稳定的配方调试时间,且与参考配方结果相比,具有较好的光学邻近校正精度,可使边位置误差平均降低5%。
沈泫史峥
关键词:光学邻近校正
熊猫九天全定制版图编辑工具stretch功能原理与实现
2009年
对熊猫九天全定制物理版图编辑工具stretch功能原理和实现予以论述。针对不同的物理版图数据path、wire、ellipse、polygon、rectangle、donut等介绍了相应的stretch原理,并给出了编辑环境对该功能实现的结果,提出了产品化过程中注意的一些问题。市场实践表明,该功能能够正确方便地帮助IC物理版图设计工程师完成设计。
张晨星李起宏王勇
关键词:EDASTRETCH
共1页<1>
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