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江苏省精密制造工程技术研究开发中心开放基金(ZK08-30-01)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：王红军王道林徐锋更多>>
相关机构：南京工业职业技术学院南京航空航天大学更多>>
发文基金：江苏省精密制造工程技术研究开发中心开放基金江苏省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇掩膜
  • 1篇微齿轮
  • 1篇渐开线
  • 1篇渐开线齿廓
  • 1篇齿廓
  • 1篇齿轮
  • 1篇AUTOCA...

机构

  • 1篇南京航空航天...
  • 1篇南京工业职业...

作者

  • 1篇徐锋
  • 1篇王道林
  • 1篇王红军

传媒

  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于AutoCAD的掩膜用微齿轮渐开线齿廓拟合被引量：1
2011年
应用微电子行业的深硅刻蚀技术ICP制备微齿轮过程中,设计微齿轮掩膜板时,为了将AutoCAD等软件设计的微齿轮渐开线轮廓正确导入LinkCAD等光刻掩膜文件格式转换软件中,需将渐开线齿廓非样条化。针对分度圆直径1mm的微齿轮渐开线齿廓按等基圆中心角的方式分别进行8、12、20分段,并分别用直线和圆弧段拟合。实验证明,微齿轮渐开线应用8分段并用圆弧拟合能获得相对光顺和精度最高的拟合曲线,能满足微齿轮齿廓要求。采用的方法为其他类似曲线段的拟合提供了有价值的参考。
王红军王道林徐锋
关键词：微齿轮掩膜
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