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河北省自然科学基金(699525)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：王军张淳更多>>
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相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇硬脆材料
  • 1篇硅片
  • 1篇超声振动
  • 1篇超声振动磨削
  • 1篇粗糙度

机构

  • 1篇燕山大学

作者

  • 1篇张淳
  • 1篇王军

传媒

  • 1篇辽宁工程技术...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硬脆材料超声振动磨削的试验研究
2010年
针对硬脆材料磨削效率低的难题,研究了硅片的超声振动磨削方法。进行了超声振动磨削与普通磨削的对比试验,研究了磨削参数变化对磨削力及表面粗糙度的影响,根据试验结果,分析了硬脆材料的脆性与塑性去除机理。研究证明:超声振动磨削硬脆材料虽然使粗糙度略有变大,但能够明显提高加工效率,降低加工成本。综合考虑精度与效率指标,超声振动磨削是一种实用的硬脆材料加工技术。
王军张淳
关键词：硬脆材料硅片超声振动磨削粗糙度
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共1页<1>
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