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国家自然科学基金(51375400)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
吴焱
李晓莹
虞益挺
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相关机构:
西北工业大学
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发文基金:
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相关领域:
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1篇
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西北工业大学
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虞益挺
1篇
李晓莹
1篇
吴焱
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2016
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闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟
被引量:2
2016年
基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明:设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%,比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上,最大工作闪耀角为6.84°;当532nm波长垂直入射时,0-10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%.
李晓莹
吴焱
虞益挺
刁金帅
闫治晚
关键词:
微机电系统
衍射效率
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