福建省教育厅资助项目(JB07007)
- 作品数：4 被引量：8H指数：2
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- 相关机构：浙江大学福州大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金福建省教育厅资助项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 静电无阀微泵两种仿真模型的比较研究被引量：2
- 2010年
- 为提高无阀微泵性能,分别采用全耦合模型(FCM)和预先定义泵膜位移的模型(PDM)对基于扩散/收缩单元的静电无阀微泵的动态特性进行计算仿真.对泵膜变形形状、泵膜中点位移、泵腔内压力以及进出口处流量等的变化历程进行比较.结果表明:PDM模型计算费用较低,但无法以较高精度近似泵膜变形的动态特性,进而导致错误的瞬态流场结果.要准确仿真微泵的动态特性,必须考虑电-结构-流场之间的相互作用.
- 林谢昭应济陈子辰
- 复杂微系统的端点特性建模理论
- 2008年
- 复杂微系统的模拟要求建立统一的、适合于植入电网络仿真器计算的系统级模型。以热力学概念作为通用理论框架,建立多畴耦合微系统通用模型的一般性理论。利用热力学共轭参量"流"和"势"统一表达从属于不同物理域子系统的端点特性,可建立各个子系统多端口组件模型。结合广义的Kirchhoffian网络理论,建立适合于电网络仿真器计算的MEMS系统级模型。便于对MEMS系统进行反复模拟和优化设计。以静电微泵为例,阐述了这一建模方法的有效性。
- 林谢昭应济
- 关键词：系统级模拟MEMSCAD
- 静电致动硅膜板的宏模型建立方法被引量：5
- 2008年
- 器件宏模型技术是微机电(MEMS)系统设计和系统级仿真的关键技术。为了建立静电致动硅膜板的宏模型,在运用有限元进行模态分析的基础上,利用多变量非线性函数拟合方法,将由数值计算得到的静电器件系统的动能、弹性能和电容写成模态广义坐标表示的解析式,导出以模态坐标表达的器件系统动力学方程,即宏模型。利用该宏模型研究了器件的静态、动态特性,并与有限元计算结果进行比较。结果表明:用模态坐标表达的动态宏模型能够考虑残余应力、大变形、静电力等非线性因素的影响,大大地减少了计算费用,而且具有足够的仿真精度。
- 林谢昭应济陈子辰
- 关键词：宏模型模态分析静电驱动
- 流体环境中静电微悬臂梁的多场耦合仿真分析被引量：3
- 2009年
- 微器件动力学特性通常受到周围粘性流体阻尼的强烈影响,在器件优化设计中,需要建立静电-结构-流体三场耦合模型才能细致考虑这些影响。为研究微开关在粘性流体介质中的动/静态特性和流体阻尼,建立以Navier-Stokes方程描述流体特性的静电微开关模型并进行数值分析;与相关文献结果比较验证了计算的正确性;得到了空气和去离子水介质中微开关的静/动态闭合电压、不同阶跃电压驱动下的闭合特性和流体阻尼力分布的情况。分析认为,微开关动/静态闭合电压的差异在介质粘性较大环境中较小,而在介质粘性较小环境中较大。
- 林谢昭应济陈子辰
- 关键词：流固耦合数值仿真微机电系统
