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中央高校基本科研业务费专项资金(N10030304)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：杨帆巴德纯杜广煜姜文全更多>>
相关机构：东北大学辽宁石油化工大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇动力学
  • 1篇动力学研究
  • 1篇微裂纹
  • 1篇金属薄膜
  • 1篇分子
  • 1篇分子动力学
  • 1篇分子动力学研...

机构

  • 1篇东北大学
  • 1篇辽宁石油化工...

作者

  • 1篇姜文全
  • 1篇杜广煜
  • 1篇巴德纯
  • 1篇杨帆

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
金属薄膜中微裂纹萌生行为的分子动力学研究被引量：3
2013年
基体-薄膜结构是微电子器件中的典型结构,尤其是金属薄膜已被广泛的应用到微电子器件上。金属薄膜在制备过程中产生的表面微裂纹对薄膜的力学性能有着较大的影响,并且表面微裂纹尖端扩展所导致的薄膜破裂,更是造成薄膜失效的主要形式,因此对金属薄膜表面微裂纹萌生行为的研究具有重要的意义。本文基于分子动力学,对连续载荷作用下的带有缺陷的铜金属薄膜进行模拟分析。计算得到了系统在拉伸方向上的应力-应变关系曲线。模拟结果显示,金属铜薄膜的原子运动对整体力学行为有明显的影响。同时模拟过程中发现,在连续载荷作用下,大量位错在金属薄膜缺陷附近产生,从而促使薄膜表面萌生微裂纹。
姜文全杜广煜巴德纯杨帆查英英
关键词：金属薄膜微裂纹分子动力学
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