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天津市应用基础与前沿技术研究计划(07JCZDJX00900)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
赵宏生
靳正国
张凯红
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相关机构:
天津大学
清华大学
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发文基金:
天津市应用基础与前沿技术研究计划
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相关领域:
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张凯红
1篇
靳正国
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赵宏生
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年份
1篇
2009
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热处理气氛对ZnO透明导电膜性能的影响
被引量:4
2009年
采用溶胶-凝胶法、在空气、Ar气、H2气中热处理制备Al3+、F-掺杂的致密ZnO薄膜。利用XRD、SEM、分光光度计和四探针测试仪对薄膜性质进行表征。研究表明,强还原性H2气处理促进了薄膜晶界中吸附氧的解吸,减少了晶界处缺陷数目,有利于薄膜晶化程度和载流子浓度提高,所制得掺杂ZnO薄膜最低方阻为10Ω/□,在可见光范围内的达透射率在可达90%以上,性能接近ITO导电薄膜。
张凯红
靳正国
赵宏生
关键词:
溶胶-凝胶
AZO薄膜
光电性能
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