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天津市应用基础与前沿技术研究计划(07JCZDJX00900)

作品数:1 被引量:4H指数:1
相关作者:赵宏生靳正国张凯红更多>>
相关机构:天津大学清华大学更多>>
发文基金:天津市应用基础与前沿技术研究计划清华大学基础研究基金资助更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇光电
  • 1篇光电性
  • 1篇光电性能
  • 1篇AZO薄膜

机构

  • 1篇清华大学
  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇张凯红
  • 1篇靳正国
  • 1篇赵宏生

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
热处理气氛对ZnO透明导电膜性能的影响被引量:4
2009年
采用溶胶-凝胶法、在空气、Ar气、H2气中热处理制备Al3+、F-掺杂的致密ZnO薄膜。利用XRD、SEM、分光光度计和四探针测试仪对薄膜性质进行表征。研究表明,强还原性H2气处理促进了薄膜晶界中吸附氧的解吸,减少了晶界处缺陷数目,有利于薄膜晶化程度和载流子浓度提高,所制得掺杂ZnO薄膜最低方阻为10Ω/□,在可见光范围内的达透射率在可达90%以上,性能接近ITO导电薄膜。
张凯红靳正国赵宏生
关键词:溶胶-凝胶AZO薄膜光电性能
共1页<1>
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