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中央高校基本科研业务费专项资金(65010351)
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
相关作者:
何青
刘芳芳
张力
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相关机构:
南开大学
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
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相关领域:
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张力
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刘芳芳
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何青
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年份
1篇
2012
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共蒸发三步法制备CIGS薄膜的相变过程
被引量:5
2012年
本文采用共蒸发三步法沉积Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜,其中关于Cu化合物的相转变过程是制约吸收层质量的关键。本文详细研究了三步法工艺中吸收层由贫Cu薄膜向富Cu薄膜转变的相变过程,通过X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光光谱仪(XRF)及扫描电镜(SEM)结合的方法总结出三步法工艺的相变过程。
刘芳芳
张力
何青
关键词:
CIGS薄膜
相变过程
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