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国家重点基础研究发展计划(513260301)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：刘俊马喜宏郭虎岗谭秋林更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇低温共烧陶瓷
  • 1篇三轴加速度
  • 1篇三轴加速度传...
  • 1篇数字传感器
  • 1篇速度传感器
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇感器
  • 1篇LTCC工艺
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中北大学

作者

  • 1篇谭秋林
  • 1篇郭虎岗
  • 1篇马喜宏
  • 1篇刘俊

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2008
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排序方式：
基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制
2008年
将微机械加工工艺与混合集成技术相结合,设计并制作了具有RS422标准接口的数字三轴加速度传感器。采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺将敏感元件、信号调理电路、模数转换电路和接口电路集成于一体,集成后的体积为45mm×45mm×15mm,实现了传感器的数字化、小型化和模块化,并大大提高了系统的测量精度和可靠性。
刘俊郭虎岗马喜宏谭秋林
关键词：数字传感器加速度传感器低温共烧陶瓷
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