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国家高技术研究发展计划(715-001-0162)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：李庚伟吴正龙更多>>
相关机构：北京师范大学中国地质大学（北京）更多>>
发文基金：中国地质大学(北京)科学技术基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电子能
  • 1篇电子能谱
  • 1篇淀积
  • 1篇能谱
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束辅助
  • 1篇光电子能谱
  • 1篇俄歇电子
  • 1篇俄歇电子能谱
  • 1篇PLD
  • 1篇X光电子能谱
  • 1篇氧

机构

  • 1篇北京师范大学
  • 1篇中国地质大学...

作者

  • 1篇吴正龙
  • 1篇李庚伟

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
X光电子能谱研究氧离子束辅助PLD共淀积ZnO薄膜被引量：3
2007年
在ZnO的XPS分析中,ZnLMM俄歇峰能很好地指认氧化锌淀积膜中Zn的价态,结合O1s光电子峰的分析,可表征ZnO中缺氧程度。通过XPS的对比实验,表明采用氧(O)离子辅助PLD共淀积ZnO薄膜,能明显改善淀积ZnO膜的缺氧问题,降低薄膜层中的孔隙率,提高淀积ZnO薄膜质量。XPS深度剖析结果还表明采用O离子辅助PLD共淀积后膜层中Zn的氧化组分和孔隙率随深度变化平缓。
吴正龙李庚伟
关键词：X光电子能谱俄歇电子能谱
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共1页<1>
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