吉林省科技发展计划基金(20010319)
- 作品数：6 被引量：29H指数：3
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- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- MOEMS光开关响应时间的分析计算被引量：4
- 2003年
- 本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关 ,给出了响应时间的计算方法 ,得出开关时间的计算公式 .分析了器件几何参数对开关时间的影响 ,给出了开关时间随参数的变化趋势 .通过优化结构给出一组几何参数 ,保证了驱动电压在 10V左右 ,开关时间可以达到 1至 2ms.
- 孙东明董玮刘彩霞郭文滨张歆东纪平徐宝琨陈维友
- 关键词：MOEMS倾斜下电极静电驱动开关时间
- MOEMS光开关动力学过程分析被引量：5
- 2005年
- 采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果.对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运动过程,得到精确的驱动条件分析结果.本文从MOEMS倾斜下电极扭臂式光开关出发,介绍了动力学分析方法的过程.通过数值求解方程,得到器件的可动部分的运动速度等方面的结果,将其在不同驱动条件下的运动状态描述出来,从而达到确定光开关静电驱动条件的目的.
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- 关键词：MOEMS动力学分析角速度倾斜下电极
- 采用CCD技术的微型光机电系统光开关测试方法被引量：3
- 2005年
- 在研制基于微型光机电系统技术的光电器件过程中,需要精确测定器件在给定驱动条件下的运动情况。在对制作完成的光开关进行性能测试时,由于微型光机电系统光开关的几何尺寸的限制,如果要准确测定光开关微反射镜的运动位移,将会有一定的困难。提出了一种采用线阵CCD技术的光学测量方法,实现了对光开关悬臂梁在驱动电压作用下的旋转角度的精确测量。通过理论推导得到了悬臂梁扭转角度与可测量物理量的关系,通过求解方程得到了各个物理量的数值选择对于测量结果的影响,并且给定了测量时各个物理量的参考值。通过实验测量,误差小于10%,表明这是一种具有实际意义的测量方案。
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- 关键词：集成光学光开关线阵CCD
- M OEMS光开关静电驱动的优化设计被引量：14
- 2002年
- 给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构 ,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构 ,给出了静电驱动等方面的分析结果。
- 孙东明董玮郭文滨刘彩霞常惠明张龙纪平徐宝琨陈维友
- 关键词：MOEMS优化设计光开关静电驱动
- MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应被引量：2
- 2005年
- 从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发, 求解雷诺方程, 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式. 通过求解动力学方程, 给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
- 孙东明董玮郭文滨刘彩霞王国东徐宝琨陈维友
- 关键词：雷诺方程倾斜下电极
- 扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析被引量：3
- 2006年
- 从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。
- 孙东明董玮玄伟刘彩霞王国东陈维友
- 关键词：微驱动器静电驱动
