您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(102102210110)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：苏博安子凤姚宁鲁占灵葛亚爽更多>>
相关机构：中国科学院郑州大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇金刚石膜

机构

  • 1篇郑州大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇崔娜娜
  • 1篇张兵临
  • 1篇葛亚爽
  • 1篇鲁占灵
  • 1篇姚宁
  • 1篇安子凤
  • 1篇苏博

传媒

  • 1篇金刚石与磨料...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
纳米片状金刚石膜的生长过程被引量：2
2011年
采用微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD)在镀钛的单晶硅衬底上制备纳米金刚石薄膜。反应气体为CH4和H2,其流量比为1∶1,微波功率为1 800 W,反应气压为10 kPa。利用扫描电镜(SEM)和Raman光谱分析薄膜的形貌和碳结构。结果表明,纳米金刚石薄膜呈现片状的组织特征,其生长过程为:生长初期在单晶硅衬底上形成由纳米碳颗粒组成的球状碳团簇;随着沉积时间的增加,碳团簇逐渐增大,纳米碳颗粒定向排列或自组装,最终形成片状纳米金刚石膜。
姚宁崔娜娜鲁占灵苏博葛亚爽安子凤张兵临
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0