中央高校基本科研业务费专项资金(2012QNA4021)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
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- 基于谐振频率的微机械加速度计温度补偿方法被引量：2
- 2015年
- 针对硅基微机械加速度计零偏往往随温度改变而漂移的问题,设计了一种新型的温度补偿电路. 通过理论研究和实验测试,发现微机械加速度计谐振频率与温度呈现非常好的线性关系.谐振频率与表头弹性梁的弹性系数的二次方根呈正比关系,而温度对于弹性系数的影响主要有3 方面：弹性模量随温度的改变、机械热膨胀和热应力.通过Matlab 数值仿真的方法,仿真和模拟了加速度计表头固有谐振频率与温度的关系,该仿真结果与实验测试结果符合得很好.基于以上分析,提出了一种新型温度补偿电路,通过在FPGA 中设计数字锁相环模块实时检测和跟踪加速度计当前温度下的谐振频率值作为温度信号,进而补偿系统零偏输出. 结果表明：在-30～60,℃全温度范围内,补偿后系统温漂峰峰值由初始的541.8,mg 降低到46.0,mg,满足了工程应用需求.
- 刘义冬刘杰朱辉杰李丹金仲和
- 关键词：加速度计谐振频率温度补偿
- 微机械加速度计中的寄生电容对噪声的影响
- 2013年
- 主要分析变面积式微机械加速度敏感元件中的固定平行电极间寄生电容对系统噪声的影响,建立敏感元件的电磁仿真模型,进行噪声公式的推导,并得到了实验验证。通过仿真分析发现,铝电极下的玻璃衬底是增大该寄生电容的主要因素。实验结果表明,该寄生电容会增加60%以上的系统噪声。
- 朱忠益刘义冬金仲和
- 关键词：寄生电容噪声分析电容检测
