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中央高校基本科研业务费专项资金(DUT12LK22)
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相关作者:
杨德超
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作者
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夏晓川
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衬底弯曲度对GaN基LED芯片性能的影响
2013年
利用低压MOCVD系统在弯曲度值不同的蓝宝石衬底上生长了GaN基LED外延结构并制作芯片。测量了芯片的主要电学和光学参数,并分析了衬底弯曲度值对芯片性能的影响。分析结果表明:存在弯曲度的衬底预先弛豫了外延层中的部分应力,改善了外延层的质量,从而提高了LED芯片的性能。随着衬底弯曲度值的逐渐增加,下层GaN对有源层中InGaN材料的压应力作用不断减小,导致芯片的主波长逐渐发生蓝移。
杨德超
梁红伟
邱宇
宋世巍
申人升
柳阳
夏晓川
俞振南
杜国同
关键词:
GAN
LED
残余应力
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