材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金项目(2011CL15)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 相关作者：叶松刘春海金永中崔学军王素娟更多>>
- 相关机构：巢湖学院四川理工学院四川大学更多>>
- 发文基金：材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金项目国家自然科学基金博士科研启动基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程化学工程更多>>
- 超薄MoN扩散阻挡层的扩散阻挡性能分析
- 2012年
- 采用磁控溅射法,制备了超薄MoN扩散阻挡层,并对Cu/MoN/Si体系进行真空退火。用四点探针(FPP)、X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)进行薄膜电性能和微结构表征。分析结果表明,MoN作为Cu扩散阻挡层结构具有良好的热稳定性,失效温度达到600℃,明显优于Mo扩散阻挡层。
- 刘春海王龙崔学军金永中叶松
- 关键词：磁控溅射MON扩散阻挡层热稳定性
- 超薄α-Ta(N)／TaN双层扩散阻挡层的微观结构与热稳定性被引量：2
- 2013年
- 提出利用真空室残余的低浓度N原子制备超薄α-Ta(N)/TaN双层扩散阻挡层的方法,有效地避免了异质元素的引入和高N含量导致的高电阻率。用四点探针(FPP)、X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)进行薄膜电性能和微结构的表征,分析结果表明,利用低浓度氮化工艺,能调控超薄金属Ta膜的相结构,从而获得低阻α-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层结构。高温退火的实验结果证明,此超薄结构具有高的热稳定性,失效温度达600℃。
- 刘春海崔学军金永中杨瑞嵩王素娟叶松
- 关键词：扩散阻挡层超薄热稳定性微结构
- 表面等离激元调控自发辐射研究进展
- 2012年
- 表面等离激元可以有效地调控自发辐射体的内量子效率和外量子效率,为发展高效新能源提供了可行的方案。特别是近年来,国内外研究人员将该技术应用到固体发光器件中,取得了许多有价值的研究成果。基于这些研究成果,文章介绍了表面等离激元调控固体发光器件自发辐射的原理和实验进展。
- 叶松刘春海王向贤余建立张志友杜惊雷
- 关键词：表面等离激元
