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武汉市青年科技晨光计划(2013070104010033)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：陈鑫赵建宜刘文更多>>
相关机构：华中科技大学中国科学技术大学更多>>
发文基金：武汉市青年科技晨光计划国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇纳米
  • 1篇纳米压印
  • 1篇可靠性
  • 1篇可靠性研究
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇集成光学
  • 1篇光学
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体激光
  • 1篇半导体激光器
  • 1篇DFB激光器

机构

  • 1篇华中科技大学
  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇刘文
  • 1篇赵建宜
  • 1篇陈鑫

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
纳米压印工艺制作DFB激光器的可靠性研究被引量：6
2014年
利用光荧光谱及X射线双晶衍射研究了纳米压印工艺对半导体外延材料的影响。利用纳米压印工艺制作了1.55μm通信用分布反馈(DFB)半导体激光器,并对制作的器件进行了老化寿命试验。实验结果表明,采用软模版压印并不会劣化半导体外延材料的特性。制作的半导体激光器预期寿命与普通双光束曝光法制得的器件预期相当,表明纳米压印工艺制作半导体激光器是可靠的。
赵建宜陈鑫周宁曹明德黄晓东刘文
关键词：集成光学纳米压印半导体激光器
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