应用光学国家重点实验室开放基金(O6133FQ064)
- 作品数：4 被引量：56H指数：2
- 相关作者：鄂书林邓文渊郭洪波孔光明赵虎旦更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院吉林大学更多>>
- 发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金长春市科技攻关计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 全聚合物SU8光波导制备工艺及其特性研究被引量：2
- 2008年
- 对一种全聚合物SU8光波导的制备工艺和波导特性进行了研究。测试结果显示,所制备光波导在1550 nm的传输损耗为2.01 dB/cm,且具有高的侧壁陡直度。详细研究了光波导制备工艺过程中前烘温度和时间、光刻时间、后烘温度和时间以及显影时间等工艺参数对波导质量的影响,给出了4.5μm×4.0μm尺寸单模波导制备的优化工艺。讨论了采用稀释后的SU8材料所制备的光波导出现侧蚀的原因以及改进的方法。
- 孔光明鄂书林邓文渊赵虎旦郭洪波
- 关键词：光刻工艺参数
- 新型2×2聚合物波导垂直耦合器的研究
- 2007年
- 对2×2聚合物波导垂直耦合器的理论设计和制作过程进行了研究。首先,利用光束传播法(BPM)设计并研究了垂直耦合器的关键参数(交叉角、垂直耦合层厚度)与耦合效率和消光比之间的关系。模拟结果表明,耦合效率最高为93%,消光比最高为29dB。其次,利用标准光刻工艺制作了波导尺寸为4×4μm,垂直耦合层厚度为2μm,相对交叉角为1.0°的聚合物波导垂直耦合器。实验结果表明,采用聚合物制备波导垂直耦合器,具有工艺简单、灵活的优点。
- 赵虎旦鄂书林邓文渊
- 关键词：光束传播法聚合物波导
- 光纤温度传感器的研究和应用被引量：49
- 2007年
- 分析了光纤温度传感器在温度探测中的优势,综述了光纤温度传感器的发展现状和应用。分别介绍了分布式光纤温度传感器、光纤光栅温度传感器、干涉型光纤温度传感器、光纤荧光温度传感器和基于弯曲损耗的光纤温度传感器的工作原理和研究现状,详细介绍了各种传感器的特点及各自的研究方向。
- 周广丽鄂书林邓文渊
- 关键词：光纤传感温度
- 聚合物双环谐振滤波器的研究被引量：5
- 2009年
- 设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器,并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层,聚合物CYTOP为下包层,在硅基底上完成了器件的制备。器件的波导端面尺寸为2μm×1μm,与设计值相符,扫描电镜显示所制备的器件波导侧壁陡直度较高。直波导传输损耗的测试结果表明,在1550 nm波长,直波导传输损耗约为2.0 dB/cm。测试并获得了多模干涉结构和器件的通光及输出光谱图。测试结果表明,MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50∶50的功分比,微环谐振滤波器的通光性能良好,实现了滤波功能,器件的自由光谱区FSR实际值约为0.94 nm,与设计参数值很接近。研究结果表明采用聚合物SU-8制备小波导尺寸微环谐振器的器件简便可行。
- 孔光明鄂书林邓文渊郭洪波张大明陈长鸣
- 关键词：集成光学微环谐振滤波器紫外光刻SU-8
