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广东省科技计划工业攻关项目(2008B010200004)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
陈献文
章勇
何苗
范广涵
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相关机构:
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发文基金:
广东省科技计划工业攻关项目
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何安和
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朱学绘
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范广涵
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何苗
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章勇
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陈献文
传媒
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光电子.激光
年份
1篇
2010
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Ni纳米粒子掩膜用于提高GaN基LED出光率的研究
被引量:2
2010年
以无水乙醇为溶剂、柠檬酸为分散剂,用超声分散技术配制Ni纳米粒子分散液;将分散液用旋涂的方法在GaN基发光二极管(LED)的ITO电流扩展层上制备单层Ni纳米粒子掩膜,采用ICP(inductively coupledplasma)干法刻蚀技术在ITO层上制作出表面粗化的结构。在20 mA工作电流下,与普通GaN基LED相比,这种ITO表面粗化的GaN基LED芯片发光强度提高了30%,并且对器件的电性能影响很小。结果表明,该表面粗化技术是一种工艺简单、成本低和能有效提高LED发光效率的方法。
何安和
何苗
朱学绘
陈献文
范广涵
章勇
关键词:
发光二极管(LED)
ICP刻蚀
出光效率
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