国家教育部博士点基金(20090091120048)
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
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- 高次驻波谐振定量检测弹性板厚度的方法
- 2010年
- 基于声波高次谐振的频率偏移与弹性板厚度变化间的关系,提出一种定量检测弹性板厚度的新方法。针对最大有效机电耦合系数(ke2ff(max))对应的谐振模式,研究了弹性板厚度对最大有效机电耦合系数对应模式的谐振频率的影响,给出修正的频率偏移与厚度变化间的关系公式。相关数值计算表明,该方法的检测灵敏度可达50Hz/μm,可用于板厚及其变化的检测和板表面状况的无损评价。
- 王禹然张辉张淑仪
- 关键词：弹性板厚度检测
- 多压电层对薄膜体声波传感器谐振特性的影响
- 1引言薄膜体声波谐振器(FilmBulkAcousticResonator,FBAR)己应用于无线通信领域的滤波器,振荡器等,相关的理论模型和性能优化研究受到广泛重视。随着薄膜体声波器件的发展,凭其小体积,低功耗,低价格...
- 张辉冯梓鑫张淑仪
- 文献传递
- 双层压电薄膜激发TSM模式的谐振特性研究
- ＜正＞1引言薄膜体声波传感器具低功耗、高灵敏度和易于集成等特点,相关研究已成为声波传感的热点问题之一。目前,单层压电薄膜体声波传感器已应用于生化领域对微量物质进行检测。但是,由于液体环境的影响,厚度剪切模式（TSM）将不...
- 张辉张淑仪王禹然范理
- 文献传递
- 基于高次体波谐振的弹性板厚度测量方法研究
- 2011年
- 利用压电片在弹性板中激发出的高次体波谐振,提出一种评估弹性板厚度变化的测量方法。根据该层状结构的高次谐振的频率随弹性板厚度变化的关系,给出测量方法的理论分析和数值计算。计算结果表明,并联谐振频率和并联谐振频率间隔与弹性板厚度的偏差量相关。其中,并联谐振频率随厚度偏差量呈线性变化,并具有周期性跳变规律。研究这种跳变规律,能提升高次谐振模式测量板厚的精度。此外,通过对数值仿真算例和实验测量比较,验证了本测量方法的可行性。
- 王禹然张辉张淑仪范理刘桂梅
- 关键词：并联谐振厚度变化弹性板高次体波
