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福建省教育厅B类科技/社科项目(2006Y008)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：冯勇建郑志霞更多>>
相关机构：厦门大学莆田学院更多>>
发文基金：莆田市自然科学基金福建省教育厅B类科技/社科项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇导电
  • 1篇硼扩散

机构

  • 1篇莆田学院
  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇郑志霞
  • 1篇冯勇建

传媒

  • 1篇厦门大学学报...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高机械灵敏度悬空导电薄膜的制备方法研究被引量：4
2012年
微机电系统中的悬空薄膜的制备技术是微结构制备的关键技术之一.研究了周边固支方形薄膜的机械灵敏度及通过浓硼扩散自停止腐蚀法制备高灵敏度悬空导电薄膜.实验结果表明,当扩散温度为1 175℃,扩散时间为3h,去除硼硅玻璃后四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液中腐蚀7.5h,可得到厚度为3μm,边长为5mm,方块电阻为1.12Ω/sq,致密均匀的悬空导电薄膜.给出了详细的制备工艺;针对扩散过程中出现的硼硅玻璃等问题,给出了切实可行的解决办法.
郑志霞冯勇建
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