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中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目(TYF0810)
中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目(TYF0810)
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
相关作者:
宋旸
赵震声
董贤子
段宣明
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相关机构:
中国科学院
中国科学院研究生院
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发文基金:
中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目
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相关领域:
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段宣明
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宋旸
传媒
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强激光与粒子...
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2011
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飞秒激光双光子加工的极限分辨力
被引量:6
2011年
采用3维压电微移动台高速扫描方式控制曝光时间与高精密转台精确控制圆形渐变衰减片以控制曝光功率两种方法,曝光时间和曝光功率可分别精确控制至0.02 ms和7 pW。通过精确控制聚合阈值附近处的曝光时间和曝光功率,分别在玻璃基板上获得了35 nm和45 nm的聚合物纳米线条,分别为所使用激光波长的1/22和1/17。实验结果表明,当曝光时间或曝光功率在加工阈值附近时,曝光时间和功率的微量减少会使聚合线宽急剧下降。
宋旸
董贤子
赵震声
段宣明
关键词:
飞秒激光
聚合度
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