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中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目(TYF0810)

作品数:1 被引量:6H指数:1
相关作者:宋旸赵震声董贤子段宣明更多>>
相关机构:中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金:中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇聚合度
  • 1篇激光
  • 1篇飞秒
  • 1篇飞秒激光

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇段宣明
  • 1篇董贤子
  • 1篇赵震声
  • 1篇宋旸

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2011
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
飞秒激光双光子加工的极限分辨力被引量:6
2011年
采用3维压电微移动台高速扫描方式控制曝光时间与高精密转台精确控制圆形渐变衰减片以控制曝光功率两种方法,曝光时间和曝光功率可分别精确控制至0.02 ms和7 pW。通过精确控制聚合阈值附近处的曝光时间和曝光功率,分别在玻璃基板上获得了35 nm和45 nm的聚合物纳米线条,分别为所使用激光波长的1/22和1/17。实验结果表明,当曝光时间或曝光功率在加工阈值附近时,曝光时间和功率的微量减少会使聚合线宽急剧下降。
宋旸董贤子赵震声段宣明
关键词:飞秒激光聚合度
共1页<1>
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