国家杰出青年科学基金(50325519)
- 作品数：36 被引量：74H指数：5
- 相关作者：李伟华黄庆安周再发张鉴陈新安更多>>
- 相关机构：东南大学兰州大学绍兴文理学院更多>>
- 发文基金：国家杰出青年科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 微电子工艺模拟及器件分析的CA方法研究进展被引量：1
- 2005年
- 综述了用于微电子工艺模拟和器件分析的元胞自动机(CA)方法的研究进展,分析了现有CA方法的优势,并比较了CA方法与其它方法的优缺点。在此基础上,展望了微电子工艺模拟及器件分析的CA方法的发展前景。对研究采用CA方法模拟微电子加工工艺和进行微电子器件分析具有参考意义。
- 周再发黄庆安李伟华
- 关键词：元胞自动机微电子电子器件
- 一种新颖的MEMS表面工艺牺牲层厚度的电测量方法被引量：1
- 2006年
- 牺牲层厚度是MEMS表面工艺中的一个重要参数,对它的测量和控制有着重要的意义。目前大多采用光机械的方法来测量,但是测试方法复杂、测试时间长。本文介绍了一种新颖的MEMS表面工艺牺牲层厚度测试技术,实现了牺牲层厚度的电测量,测试方法简单快捷,并且很便于测试系统集成。
- 李晓鹏李伟华
- 关键词：牺牲层厚度电测量
- MEMS薄膜吸合电压在线测试系统设计
- 2007年
- 为了实现MEMS薄膜材料参数的在线测试,设计了MEMS薄膜吸合电压在线测试系统。该测试系统由测控软件、测试硬件平台与测试微结构构成,能够全自动地快速完成薄膜吸合电压的在线测试,并立即输出薄膜的杨氏模量与残余应力。测试系统最大可测试100V的吸合电压,测试精度为±1.0V。最后对由标准牺牲层加工工艺制作的多晶硅双端固支梁进行了测试实验,并给出了测试数据,实验结果表明本测试系统具有高精度、快速测试的优点,适合于工业生产的大批量测试需求。
- 李巧萍李伟华聂萌刘祖韬
- 关键词：MEMS数据采集
- MEMS器件自动优化算法
- 2006年
- 研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以悬臂梁的谐振频率指标为例,通过TSPICE软件,模拟其在给定初始结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正算法对器件结构参数进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标要求.最后采用CoventorWare软件对优化结果进行了验证.
- 赖文滨李伟华
- 关键词：MEMS器件结构参数悬臂梁
- 电感耦合等离子体(ICP)深刻蚀的模型与模拟被引量：7
- 2006年
- 为对交替复合深刻蚀过程进行工艺仿真,本文利用鞘层近似模型,以离子辅助刻蚀和直接粒子刻蚀的组合来实现交替复合深刻蚀过程中的刻蚀步骤,辅以各向同性钝化过程,对电感耦合等离子体深刻蚀(硅片)进行了建模。本文采用单一的二维廓线"线算法"模型实现对刻蚀材料的区分,进而实现了对电感耦合等离子体深刻蚀的二维模拟和三维带状显示。其优点是相比元胞及混合模型算法统一,运行效率高、速度快,且模拟结果与实验相比较为理想。
- 张鉴黄庆安李伟华
- 关键词：电感耦合等离子体
- 硅各向异性腐蚀模拟的3-D连续CA模型研究被引量：3
- 2006年
- 针对硅的各向异性腐蚀,直接采用硅的晶格结构作为CA(元胞自动机)的晶格结构,建立了硅各向异性腐蚀的3 D连续CA模型。模型通过引入更多腐蚀过程中出现的晶面,使得腐蚀过程中表层元胞边界条件的确定只与表层元胞有关,提高了模拟的精度。通过对模似结果的理论分析及将模拟的三维输出结果与已有实验结果进行对比,验证了模型的模拟效果。
- 周再发黄庆安李伟华王涓孙岳明
- 关键词：元胞自动机微机电系统微加工技术各向异性腐蚀
- MEMS器件三维描述与节点单元提取方法的研究
- 2007年
- 设计了一种基于节点法模拟的MEMS(Microelectromechanicalsystem)仿真软件,构思了该软件六模块的结构组成,并提出了前三块的具体实现方法,包括实现MEMS器件三维描述与节点单元提取的方法.结合加工工艺流程与参数,实现了从版图到三维立体结构的生成,并进而完成了节点单元的提取.论文详细讨论了版图解释、矩形分割、两维版图到三维结构的转换、节点划分和提取等几部分的程序流程及核心算法.以MEMS梳状谐振器为例介绍了相关的算法、过程,均可获得正确的图形输出结果.
- 邓伟李伟华
- 关键词：MEMS器件版图
- 考虑高指数晶面的体硅腐蚀模拟新CA模型被引量：2
- 2007年
- 针对目前体硅腐蚀(硅各向异性腐蚀)的3DCA模型无法引入(211),(311),(331),(411)等较多高密勒指数晶面,模拟精度不高的问题,建立了一种高精度的体硅腐蚀模拟的新3D连续CA(元胞自动机)模型.模型可以有效引入(211),(311),(331),(411)等高密勒指数晶面,提高模拟精度.模拟结果与实验结果一致,证明了模型的模拟效果,对体硅腐蚀模拟研究和提高MEMS设计水平具有一定的实用意义.
- 周再发黄庆安李伟华邓伟
- 关键词：元胞自动机微机电系统微加工技术各向异性腐蚀
- 基于二维扩散方程的牺牲层腐蚀模拟与仿真被引量：1
- 2006年
- 深入研究了牺牲层腐蚀机制,给出了可以在二维平面中模拟腐蚀过程的仿真程序。由于腐蚀主要由腐蚀溶液的扩散机制所影响,对溶液的二维扩散方程给出了求解的有限差分算法,得到了在具体时间和位置的浓度,再利用T opography模型计算腐蚀前端面的腐蚀进行情况得到腐蚀前端行进的轮廓线,通过编程得到了能够模拟不同开口牺牲层结构的仿真程序。最后给出模拟结果和实验腐蚀结果的对比。
- 李艳辉李伟华周再发
- 关键词：牺牲层腐蚀二维扩散方程
- 一种可用于Footing效应模拟的ICP刻蚀模型被引量：4
- 2007年
- 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀在目前的硅微机械加工中应用十分广泛。在这一加工过程中,存在着影响结构拓扑特性、被加工结构性能的一些效应,SOI结构中的Footing效应就是其中之一。本文在利用一种改进的复合交替深刻蚀(TMDE)模型对ICP刻蚀表面进行建模及数值模拟的基础上,根据Footing效应的实验表现特征,设定类高斯分布的表面描述方程。同时借助实验数据确定了表面描述方程中的参数,添加了一种简单有效的Footing效应模拟模块。最后对Footing效应刻蚀表面进行模拟,并得到与实验较为一致的表面模拟结果。
- 张鉴黄庆安李伟华
