中国航空科学基金(2008ZE57019)
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
- 相关作者：杨春生刘景全芮岳峰李以贵何庆更多>>
- 相关机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金上海市教育发展基金会“曙光计划”项目上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于Parylene的柔性生物微电极阵列的制作被引量：5
- 2011年
- 在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术.半球形形貌的微电极有利于形成和神经组织的良好接触,并且相比同底面积的平板电极,表面积增加为2倍,这有利于降低界面阻抗,降低系统功耗.使用化学气相沉积法沉积Parylene C薄膜作为微电极的封装材料,它具有良好的生物相容性和柔性,可以降低对神经组织的损害.实验结果表明,与此半球形微电极底面积大1.3倍的平板电极相比,半球形微电极的界面阻抗下降了55%,并且界面阻抗随着微电极顶部开口直径的变化而变化.使用Comsol有限元软件进行了电极/组织液液面流出电流密度仿真,仿真结果也表明,微电极的流出电流密度也随着微电极顶部开口直径的变化而变化,因此可以通过调整微电极顶部开口直径来调节电流密度,从而满足不同部位需要不同电流密度刺激的要求.
- 芮岳峰王亚军刘景全杨春生
- 关键词：MEMSPARYLENE微电极阵列
- 基于PDMS的芯片电极多层互连系统的研究
- 2011年
- 本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法,应用MEMS(微电子机械系统)技术将芯片和电极进行了芯片级的互连,系统集成度高,尺寸小。相比传统的单层互连方法,在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材料,大大降低了传统的以硅为基底的加工成本。制备的芯片电极多层互连系统芯片和电极互连数量多,各层绝缘层为绝缘性能良好的柔性Parylene(聚对亚苯基二甲基)薄膜,为柔性多层高密度线路互连技术提供了一种新方法。
- 芮岳峰刘景全杨春生何庆李以贵
- 关键词：植入式PARYLENEMEMS互连PDMS
- 真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究
- 2011年
- 本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足。提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案。最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素。
- 何庆刘景全杨春生李以贵芮岳峰
- 关键词：PARYLENE真空沉积纳米粉体
