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国家自然科学基金(50572094)
作品数:
2
被引量:6
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相关作者:
杨德仁
徐进
李福龙
曾俞衡
阙端麟
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杨德仁
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烧结工艺对薄片单晶硅太阳电池弯曲的影响
被引量:1
2009年
通过在快速热处理(Rapid Thermal Processor,RTP)炉中模拟铝背烧结过程,研究了升温速率、烧结温度和降温速率等烧结工艺参数对薄片单晶硅太阳电池弯曲的影响。结果显示,增加铝熔化前和减少铝熔化后的处理时间、加快降温以及降低烧结温度都能减小电池片弯曲。这主要是由于这些烧结工艺参数影响了铝层的致密度和降温过程中AlSi熔体的过冷所致。在此基础上得出了减小电池片弯曲的合理烧结工艺。
孙振华
杨德仁
朱鑫
汪雷
李晓强
曾俞衡
阙端麟
关键词:
单晶硅
太阳电池
直拉硅单晶中原生氧沉淀的透射电镜研究
被引量:5
2007年
利用透射电镜对掺氮(NCZ)和普通(CZ)直拉硅单晶中的原生氧沉淀进行研究.研究表明,在NCZ样品中,有高密度的粒径为5nm的氧沉淀生成,而在CZ样品中,没有观察到这种氧沉淀.初步认为,这种细小的氧沉淀是以650℃低温下形成的N-O复合体为核心在随后的冷却过程中形成.
徐进
李福龙
杨德仁
关键词:
直拉硅
透射电镜
氧沉淀
Impurity effect on internal gettering in Czochralski silicon
With the rapid reduction in feature size of ultra large scaled integrate(ULSI) circuits,the microdefects in Cz...
Jiahe Chen
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