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北京市教育委员会科技发展计划(KM20111007004)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：曹阳武光明张志乾邢光建高德文更多>>
相关机构：北京石油化工学院更多>>
发文基金：北京市教育委员会科技发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇喷雾热分解
  • 1篇喷雾热分解法
  • 1篇光电
  • 1篇光电性
  • 1篇光电性能
  • 1篇ITO薄膜

机构

  • 1篇北京石油化工...

作者

  • 1篇周洋
  • 1篇朱艳英
  • 1篇高德文
  • 1篇邢光建
  • 1篇张志乾
  • 1篇武光明
  • 1篇曹阳

传媒

  • 1篇纳米科技

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
喷雾热分解法制备ITO薄膜及其光电性能研究被引量：1
2012年
采用自制的喷雾热分解装置在玻璃衬底上制备ITO薄膜，并对实验条件进行了正交设计，以考察制备ITO薄膜的优良条件，结果表明，影响ITO薄膜光电性能的主要因素是基板温度。制备ITO薄膜的优化条件为：基板温度300℃，载气气流速度1L·min^-1，退火温度540℃，溶液配比为铟锡比10：1，喷嘴与基板距离8cm，薄膜沉积时间3．5min，相应的透光率为97％，方块电阻3875Ω／。
周洋武光明高德文邢光建朱艳英张志乾曹阳
关键词：喷雾热分解ITO薄膜光电性能
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